Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2017, выпуск 16 » Статья стр. 87
<<<>>>
Формирование гексагональной фазы кремния 9R при ионной имплантации
DOI: 10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852
Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственное задание, 16.2737.2017/ПЧ
Королев Д.С.1, Никольская А.А.1, Кривулин Н.О.1, Белов А.И.1, Михайлов А.Н.1, Павлов Д.А.1, Тетельбаум Д.И.1, Соболев Н.А.2, Kumar M.3
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Indian Institute of Technology Jodhpur, Jodhpur, India
Email: tetelbaum@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.
PDF версия
С помощью метода просвечивающей электронной микроскопии в приграничном слое кремния структуры SiO2/Si, подвергнутой ионной имплантации и термической обработке, обнаружено образование включений гексагонального кремния (политип 9R). Образование гексагональной фазы обусловлено механическими напряжениями, возникающими в гетерофазной системе в процессе ионной имплантации. DOI: 10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852
  1. Rodl C., Sander T., Bechstedt F. et al. // Phys. Rev. B. 2015. V. 92. P. 045207
  2. Raffy C., Furthuller J., Bechstedt F. // Phys. Rev. B. 2002. V. 66. P. 075201
  3. Bandet J., Despax B., Caumont M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2002. V. 35. P. 234
  4. Wentorf R.H., Kasper J.S. // Science. 1963. V. 139. P. 338
  5. Zhang Y., Iqbal Z., Vijayalakshmi S., Grebel H. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75. P. 2758
  6. Павлов Д.А., Пирогов А.В., Кривулин Н.О., Бобров А.И. // ФТП. 2015. Т. 49. В. 1. С. 98
  7. Fissela A., Wanga C., Bugielb E., Osten H.J. // Microelectron. J. 2005. V. 36. P. 506
  8. Tan T.Y., Foll H., Hu S.M. // Phil. Mag. A. 1981. V. 44. P. 127
  9. Герасименко Н.Н., Двуреченский А.В., Романов С.И., Смирнов Л.С. // ФТП. 1973. Т. 7 В. 11. С. 2195
  10. Диденко А.Н., Шаркеев Ю.П., Козлов Э.В., Рябчиков А.И. Эффект дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах. Томск: Изд-во НТЛ, 2004. 328 c
  11. Korolev D.S., Mikhaylov A.N., Belov A.I. et al. // Int. J. Nanotechnology. 2017. V. 14. P. 637
  12. Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2010. V. 268. P. 1818
  13. Liu X., Wang D. // Nano Res. 2009. V. 2. P. 575
  14. Cerva H. // Mater. Res. 1991. V. 6. P. 2324
  15. Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme