Исследованы закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости. Показано, что применение фторуглеродной плазмы в процессе структурирования с использованием углеродного масочного покрытия позволяет получать заданные токи автоэмиссии кремниевых катодных матриц при изменении в широком диапазоне напряженностей внешних электрических полей независимо от изменения коэффициентов усиления поля эмиссионных выступов. Установлена превалирующая роль дипольной поляризации при полевой эмиссии электронов в поверхностно модифицированных кремниевых структурах.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.