Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Метод диффузии цинка в InP через узкий зазор с использованием планарного источника на основе Zn3P2
Переводная версия: 10.1134/S1063785018070258 
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Email: maikdi@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.
Представлен оригинальный метод диффузии цинка через узкий зазор в InP, позволяющий воспроизводимо формировать p-n-переходы с заданной глубиной легирования без нарушения морфологии поверхности легируемых слоев. На образцах, легированных этим методом, получены профили распределения носителей заряда в слоях InP. С помощью растровой электронной микроскопии на сколах образцов определена глубина диффузии цинка.
- MacDougal M., Hood A., Geske J.,Wang J., Patel F., Follman D., Manzo J., Getty J. // Proc. SPIE. 2011. V. 8012. N 21. P. 801221
- Acerbi F., Tosi A., Zappa F. // Sens. Actuators A: Phys. 2013. V. 201. P. 207--213
- Pellegrini S., Warburton R., Tan L., Ng J., Krysa A., Groom K., David J., Cova S., Robertson M., Buller G. // IEEE J. Quantum Electron. 2006. V. 42. N 4. P. 397--403
- Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. Л.: Наука, 1972. 384 c
- Yang S., Yoo J. // Surf. Coat. Technol. 2000. V. 131. P. 66--69
- Yun I., Hyun K. // Microelectron. J. 2000. V. 31. N 8. P. 635--639
- Беляков С.В., Бусыгина Л.А., Гореленок А.Т., Каманин A.B., Кукатов В.В., Меркулов A.B., Мокина И.А., Шмидт Н.М., Юрре Т.А. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 35. С. 35--38
- Панютин Е.А. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 13. С. 33--40
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
