Особенности наноструктурирования поверхности кремния в результате ее сверхбыстрого нагрева фемтосекундным лазерным импульсом в воде
Ромашевский С.А.
11Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Россия
Email: sa.romashevskiy@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.
Методом атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности кремния после воздействия фемтосекундного лазерного импульса в области припороговых плотностей энергий в воде. По мере увеличения плотности энергии поверхность кремния трансформируется в наномасштабную кольцевую и блистерную структуры, а также гладкие и наноструктурированные микрократеры с минимальной глубиной 1 nm. Обнаружено формирование "отпечатков" звездообразной формы на поверхности микрократера при плотностях энергии выше порога абляции.
- Phillips K.C., Gandhi H.H., Mazur E., Sundaram S. K. // Adv. Opt. Photon. 2015. V. 7. P. 684--712
- Malinauskas M., vZukauskas A., Hasegawa S., Hayasaki Y., Mizeikis V., Buividas R., Juodkazis S. // Light Sci. Appl. 2016. V. 5. P. e16133
- Chen C.-Yu., Chang T.-L. // Microelectron. Eng. 2015. V. 143. P. 41--47
- Korte F., Serbin J., Koch J., Egbert A., Fallnich C., Ostendorf A., Chichkov B.N. // Appl. Phys. A. 2003. V. 77. P. 229--235
- Derrien T. J.-Y., Koter R., Kruger J., Hohm S., Rosenfeld A., Bonse J. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. P. 074902
- Izawa Y., Tokita S., Fujita M., Nakai M., Norimatsu T., Izawal Y. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 064909
- Izawa Y., Tokita S., Fujita M., Norimatsu T., Izawa Y. // Appl. Surf. Sci. 2009. V. 255. P. 9764--9769
- Ромашевский С.А., Ашитков С.И., Дмитриев А.С. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 15. С. 78--85
- Romashevskiy S.A., Ashitkov S.I., Ovchinnikov A.V., Kondratenko P.S., Agranat M.B. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 374. P. 12--18
- Romashevskiy S.A., Ashitkov S.I., Agranat M.B. // Appl. Phys. Lett. 2016. V. 109. P. 261601
- Bonse J., Brzezinka K.-W., Meixner A.J. // Appl. Surf. Sci. 2004. V. 221. P. 215--230
- Sasaki H., Tokizaki E., Terashima K., Kimura S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. V. 33. P. 3803--3807
- Shishkin A.V., Basin A.S. // Theor. Found Chem. Eng. 2004. V. 38. P. 660--668
- Polek M., Hassanein A. // Laser Part. Beams. 2016. V. 34. P. 143--150
- Hwang D.J., Grigoropoulos C.P., Choi T.Y. // J. Appl. Phys. 2006. V. 99. P. 083101
- Ding P.J., Liu Q.C., Lu X., Liu X.L., Sun S.H., Liu Z.Y., Hu B.T., Li Y.H. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2012. V. 286. P. 40--44
- Besner S., Degorce J.-Y., Kabashin A.V., Meunier M. // Appl. Surf. Sci. 2005. V. 247. P. 163--168
- Daminelli G., Kruger J., Kautek W. // Thin Solid Films. 2004. V. 467. P. 334--341
- Hu H., Liu T., Zhai H. // Opt. Express. 2015. V. 23. P. 628--635
- Shih C.-Y., Wu C., Shugaev M.V., Zhigilei L.V. // J. Colloid Interface Sci. 2017. V. 489. P. 3--17
- Povarnitsyn M.E., Itina T.E. // Appl. Phys. A. 2014. V. 117. P. 175--178
- Vogel A., Linz N., Freidank S., Paltauf G. // Phys. Rev. Lett. 2008. V. 100. P. 038102
- Schaffer C.B., Nishimura N., Glezer E.N., Kim A.M.-T., Mazur E. // Opt. Express. 2002. V. 10. P. 196--203.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.