Вышедшие номера
Исследование пироэффекта в AlN-эпитаксиальных слоях
Переводная версия: 10.1134/S1063785018080199
Гаврилов Г.А.1, Капралов А.Ф.1, Муратиков К.Л.1, Панютин Е.А.1, Сотников А.В.1, Сотникова Г.Ю.1, Шарофидинов Ш.Ш.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: eugeny.panyutin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 24 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

Проведены экспериментальные исследования пироэлектрического эффекта в слоях AlN толщиной 6-12 mum, выращенных методом хлоридно-гидридной газофазной эпитаксии на подложках 4H-SiC. Возбуждение пироэлектрического тока осуществлялось методом динамического лазерного воздействия. Эволюция температурных полей с учетом специфики тепловой гетерогенности AlN/SiC-системы контролировалась путем непосредственного измерения динамики ее поверхностной температуры, что в совокупности с данными изменения пиротока позволило определить значение пирокоэффициента для AlN/SiC-структуры (p~3.0 muС/(m2·K) ). Рассчитаны факторы качества данной структуры, используемые для сравнения пироэлектрических материалов применительно к задаче построения на их основе детекторов ИК-излучения.