Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2019, выпуск 7 » Статья стр. 49
<<<>>>
Влияние образования силицидов на удельное сопротивление кремния
DOI: 10.21883/PJTF.2019.07.47539.17650
Переводная версия: 10.1134/S1063785019040175
Умирзаков Б.Е.1, Ташмухамедова Д.А.1, Аллаярова Г.Х.1, Содикжанов Ж.Ш.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@mail.ru
Поступила в редакцию: 21 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.
PDF версия
Впервые исследовано влияние образования тонких пленок силицидов никеля на миграцию собственных примесей p-типа кремния. Установлен существенный рост (до 3-4 раз) объемного сопротивления rhov монокристалла Si при формировании на его поверхности пленки NiSi2 толщиной theta≥50-100 Angstrem, что объясняется миграцией атомов бора в сторону силицидной пленки. Оценочная толщина слоя Si, при которой происходит интенсивная миграция бора, составляет 800-1000 Angstrem.
  1. Cho W.S., Kim J.Y., Park N.G., Lyo I.W., Jeong K., Kim S.S., Choi D.S., Whang S.N., Chae K.H. // Surf. Sci. 2000. V. 453. N 1--3. P. L309--L314. https://doi.org/10.1016/S0039- 6028(00)00344-7
  2. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Малыгин Д.Е., Галль Н.Р., Вялых Д.В., Молодцов С.Л. // ФТТ. 2005. Т. 47. В. 10. С. 1901--1906. http://journals.ioffe.ru/articles/4014
  3. Watanabe M., Iketani Y., Asada M. // Jpn. J. Appl. Phys. 2000. V. 39. N 10A. Pt 2. P. L964--L967. http://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.39.L964
  4. Сутурин С.М., Банщиков А.Г., Соколов Н.С., Тягинов С.Э., Векслер М.И. // ФТП. 2008. Т. 42. В. 11. С. 1333--1338. http://journals.ioffe.ru/articles/6694
  5. Мурадкабилов Д.М., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. N 10. С. 58--62
  6. Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Рузибаева М.К., Ташатов А.К., Донаев С.Б., Мавлянов Б.Б. // ЖТФ. 2013. Т. 83. В. 9. С. 146--149. http://journals.ioffe.ru/articles/11015
  7. Vasiliev S.V., Gerasimenko N.N., Altukhov A.A., Ivanov V.V. // Phys. Status Solidi A. 1986. V. 96. N 2. P. K163--K167. https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/pssa.2210960253
  8. Умирзаков Б.Е., Ниматов С.Ж., Болтаев Х.Х. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. N 9. С. 87--90
  9. Sze S.M., Irvin J.C. // Solid-State Electron. 1968. V. 11. N 6. P. 599--602. https://doi.org/10.1016/0038-1101(68)90012-9
  10. Несмелова И.М., Астафьев Н.И., Кулакова Н.А. // Опт. журн. 2012. Т. 79. N 3. С. 87--90. http://www.opticjourn.ru/ download/private/0-1203-87.pdf
  11. Самсонов Т.В., Дворина Л.А., Рудь Б.М. Силициды. М.: Металлургия, 1979. 372 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme