Влияние температуры мишени на образование нанорельефа при облучении газовыми кластерными ионами
Киреев Д.С.
1, Иешкин А.Е.
1, Шемухин А.А.
21Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: dmtr.kireeff6497@yandex.ru, ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 28 августа 2019 г.
В окончательной редакции: 31 января 2020 г.
Принята к печати: 6 февраля 2020 г.
Выставление онлайн: 28 марта 2020 г.
Проведено исследование нанорельефа, формирующегося на поверхности меди под действием наклонного пучка кластерных ионов при различных дозах обучения и температурах мишени. Образующийся нанорельеф с увеличением дозы развивается в упорядоченную волнообразную структуру. Обнаружено, что при увеличении температуры мишени происходит сглаживание исходной шероховатости. Указаны механизмы, ответственные за формирование топографии поверхности, и сделаны оценки их эффективности. Ключевые слова: кластерные ионы, распыление, нанорельеф, самоорганизация, атомно-силовая микроскопия.
- Шемухин А.А., Балакшин Ю.В., Черныш В.С., Голубков С.А., Егоров Н.Н., Сидоров А.И. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 4. С. 535--538. DOI: 10.1134/S1063782614040265
- Yamada I., Matsuo J., Toyoda N., Kirkpatrick A. // Mater. Sci. Eng. R. 2001. V. 34. P. 231--295. DOI: 10.1016/S0927-796X(01)00034-1
- Ieshkin A.E., Kireev D.S., Ermakov Yu.A., Trifonov A.S., Presnov D.E., Garshev A.V., Anufriev Yu.V., Prokhorova I.G., Krupenin V.A., Chernysh V.S. // Nucl. Instr. Meth. B. 2018. V. 421. P. 27--31. DOI: 10.1016/j.nimb.2018.02.019
- Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 6. С. 30--32. DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646
- Sumie K., Toyoda N., Yamada I. // Nucl. Instr. Meth. B. 2013. V. 307. P. 290--293. DOI: 10.1016/j.nimb.2013.01.087
- Lozano O., Chen Q.Y., Tilakaratne B.P., Seo H.W., Wang X.M., Wadekar P.V., Chinta P.V., Tu L.W., Ho N.J., Wijesundera D., Chu W.K. // AIP Adv. 2013. V. 3. P. 062107. DOI: 10.1063/1.4811171
- Tilakaratne B.P., Chen Q.Y., Chu W.K. // Materials. 2017. V. 10. P. 1056. DOI: 10.3390/ma10091056
- Toyoda N., Tilakaratne B., Saleem I., Chu W-K. // Appl. Phys. Rev. 2019. V. 6. P. 020901. DOI: 10.1063/1.5030500
- Киреев Д.С., Данилов А.В., Иешкин А.Е., Черныш В.С. // Вестн. РГРТУ. 2018. N 66. С. 40--48. DOI: 10.21667/1995-4565-2018-66-4-2-40-48
- Popok V.N. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2014. V. 38. P. 7--16
- Seah M.P. // J. Phys. Chem. C. 2013. V. 117. P. 12622--12632. DOI: 10.1021/jp402684c
- Kitani H., Toyoda N., Matsuo J., Yamada I. // Nucl. Instr. Meth. B. 1997. V. 121. P. 489--492. DOI: 10.1016/S0168-583X(96)00556-3
- Ieshkin A.E., Kireev D.S., Tatarintsev A.A., Chernysh V.S. // Nucl. Instr. Meth. B. 2019. V. 460. P. 165--168. DOI: 10.1016/j.nimb.2019.03.054
- Елманов Г.Н., Залужный А.Г., Скрытный В.И., Смирнов Е.А., Яльцев В.Н. Физическое материаловедение. Т. 1. Физика твердого тела. М.: МИФИ. 2007. 636 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
