Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова
Переводная версия: 10.1134/S1063785020050284 
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия 
Email: zoldmine@gmail.com, kalygina@ngs.ru, nkmax3@yandex.ru, evvch192184@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 22 февраля 2020 г.
Принята к печати: 25 февраля 2020 г.
Выставление онлайн: 28 марта 2020 г.
Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2:Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO2:Sb в зависимости от температурного режима. Ключевые слова: диоксид олова, аммиак, тонкие пленки, магнетронное распыление, режим термоциклирования.
- Timmer B., Olthuis W., van den Berg A. // Sensors Actuators. B. 2005. V. 107. P. 666--677. https://doi.org/10.1016/.snb.2004.11.054
- Xiong Y., Xu W., Ding D., Lu W., Zhu L., Zhu Z., Wang Y., Xue Q. // J. Hazard. Mater. 2018. V. 341. P. 159--167. https://doi.org/10.1016/j.jhazmat.2017.07.060
- Marikutsa A., Krivetskiya V., Yashina L., Rumyantseva M., Konstantinova E., Ponzoni A., Comini E., Abakumov A., Gaskov A. // Sensors Actuators B. 2012. V. 175. P. 186--183. https://doi.org/10.1016/j.snb.2012.03.003
- Wagh M.S., Jain G.H., Patil D.R., Patil S.A., Patil L.A. // Sensors Actuators B. 2006. V. 115. P. 128--133. https://doi.org/10.1016/j.snb.2005.08.030
- Xu C.N., Miura N., Ishida Y., Matsuda K., Yamazoe N. // Sensors Actuators B. 2000. V. 65. P. 163--165. https://doi.org/10.1016/S0925-4005(99)00413-X
- Marikutsa A., Rumyantseva M., Gaskov A. // Chemosensors. 2015. V. 3. P. 241--252. DOI: 10.3390/chemosensors3040241
- Звягинцев О.Е. // ЖПХ. 1959. Т. XXXII. В. 9. С. 1889--1899
- Максимова Н.К., Севастьянов Е.Ю., Серегейченко Н.В., Черников Е.В. Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры. Томск: Изд-во НТЛ, 2016. 164 с
- Зятьков И.И., Максимов А.И., Мошников В.А. Сенсоры на основе полевых транзисторов. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002. 55 c
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
