Вышедшие номера
Получение тонких пленок графита на диэлектрической подложке с помощью гетероэпитаксиального синтеза
Переводная версия: 10.1134/S1063785020050260
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), мол_а, 18-38-00884
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), А, 19-07-00432
Сорокин И.А. 1,2, Колодко Д.В. 1,2, Лузанов В.А. 1, Шустин Е.Г. 1
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: iasorokin@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 28 февраля 2020 г.
Принята к печати: 2 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 28 марта 2020 г.

Представлены результаты отработки методики получения тонких графитовых пленок на диэлектрической подложке методом отжига структуры Al2O3(0001)/Ni(111)/ta-C. Методика основана на каталитическом разложении углеводородов на поверхности монокристаллической пленки металла-катализатора на диэлектрической подложке и последующей диффузии и кристаллизации углерода между металлической пленкой и подложкой. После химического травления металлической пленки получается тонкая графитовая пленка с низкой плотностью дефектов кристаллической структуры на диэлектрической подложке. Ключевые слова: графен, гетероэпитаксия, металл-катализатор, синтез, никель, диэлектрическая подложка.