Применение селективного контакта MoOx/p-Si для оценки деградации приповерхностной области кремния
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation, №075-00306-20-01, №0788-2020-0008
Кудряшов Д.А.1, Гудовских А.С.1,2, Максимова А.А.1,2, Баранов А.И.1, Уваров А.В.1, Морозов И.А.1
1Alferov University, St. Petersburg, Russia
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: gudovskikh@spbau.ru, deer.blackgreen@yandex.ru, baranov_art@spbau.ru, lumenlight@mail.ru, morivan@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 июля 2020 г.
В окончательной редакции: 16 сентября 2020 г.
Принята к печати: 16 сентября 2020 г.
Выставление онлайн: 15 октября 2020 г.
Показана возможность оценки степени повреждения приповерхностного слоя кремния p-типа с помощью селективного контакта на основе MoOx/p-Si. Продемонстрирована сильная чувствительность вольт-амперных характеристик к состояниям на поверхности кремния, образованным в процессе нанесения оксида кремния методом магнетронного распыления. Ключевые слова: кремний, селективный контакт, плазменная деградация.
- Yoshikawa K., Kawasaki H., Yoshida W., Irie T., Konishi K., Nakano K., Uto T., Adachi D., Kanematsu M., Uzu H., Yamamoto K. // Nature Energy. 2017. V. 2. P. 17032. DOI: 10.1038/nenergy.2017.32
- Lang D.V. // J. Appl. Phys. 1974. V. 45. P. 3023-3032. DOI: 10.1063/1.1663719
- Kudryashov D.A., Gudovskikh A.S., Baranov A.I., Morozov I.A., Monastyrenko A.O. // Phys. Status Solidi A. 2019. V. 217. P. 1900534. DOI: 10.1002/pssa.201900534
- Bullock J., Zheng P., Jeangros Q., Tosun M., Hettick M., Sutter-Fella C.M., Wan Y., Allen T., Yan D., Macdonald D., De Wolf S., Hessler-Wyser A., Cuevas A., Javey A. // Adv. Energy Mater. 2016. V. 6. P. 1600241. DOI: 10.1002/aenm.201600241
- Battaglia C., De Nicolas S.M., De Wolf S., Yin X., Zheng M., Ballif C., Javey A. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 104. P. 113902. DOI: 10.1063/1.4868880
- Kudryashov D., Baranov A., Gudovskikh A. // J. Phys.: Conf. Ser. 2019. V. 1410. P. 012110. DOI: 10.1088/1742-6596/1410/1/012110
- Varache R., Leendertz C., Gueunier-Farret M.E., Haschke J., Munoz D., Korte L. // Solar Energy Mater. Solar Cells. 2015. V. 141. P. 14--23. DOI: 10.1016/j.solmat.2015.05.014
- Cox P.A. Transition metal oxides: an introduction to their electronic structure and properties. Oxford: Oxford University Press, 2010. 284 p
- Greiner M.T., Chai L., Helander M.G., Tang W.-M., Lu Z.-H. // Adv. Funct. Mater. 2012. V. 22. P. 4557--4568. DOI: 10.1002/adfm.201200615
- Matsuura H., Okuno T., Okushi H., Tanaka K. // J. Appl. Phys. 1984. V. 55. P. 1012--1019. DOI: 10.1063/1.333193
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
