Вышедшие номера
Влияние окисления пористого кремния на формирование нанокомпозитов пористый кремний/индий электрохимическим методом
Российский научный фонд, 20-19-00720
Гревцов Н.Л.1, Чубенко Е.Б.1, Бондаренко В.П.1, Гаврилин И.М.2, Дронов А.А.2, Гаврилов С.А.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: hrautsou@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 октября 2020 г.
В окончательной редакции: 29 декабря 2020 г.
Принята к печати: 29 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 3 февраля 2021 г.

Установлено, что окисление скелета пористого кремния в воздушной атмосфере при 300oC или в водном растворе HNO3 (50 vol.%) позволяет улучшить заполнение пор индием при его осаждении электрохимическим методом. Благодаря частичному окислению скелета пористого кремния максимум концентрации индия в нем смещается от поверхности в глубину пористого слоя. Наибольший эффект проявляется при окислении пористого кремния в растворе HNO3, в этом случае обнаружена максимальная концентрация индия в каналах пор. Ключевые слова: пористый кремний, индий, электрохимическое осаждение, окисление, наночастицы, нанонити.