Формирование сверхтвердых покрытий в процессе обработки низкотемпературной плазмой азота в открытой атмосфере пленок титана
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 20-0800598
Министерство образования и науки Российской Федераци, Госзадание, FZNZ-2020-0002
Гаджиев М.Х.
1, Эмиров Р.М.
2, Муслимов А.Э.
3, Исмаилов М.Г.
2, Каневский В.М.
31Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Россия
2Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
3Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и Фотоника" Российской академии наук, Москва, Россия
Email: makhach@mail.ru, aderron@mail.ru, amuslimov@mail.ru, ism_mag@mail.ru, kanev@crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 11 января 2021 г.
В окончательной редакции: 12 февраля 2021 г.
Принята к печати: 13 февраля 2021 г.
Выставление онлайн: 8 марта 2021 г.
Приводятся результаты исследования процессов формирования сверхтвердых покрытий путем обработки потоком низкотемпературной плазмы азота в открытой атмосфере пленок титана на подложках сапфира. Показано, что в процессе плазменной обработки формируется покрытие азотсодержащего TiO2 со структурой рутила с двукратным увеличением (в сравнении с рутилом TiO2) микротвердости (до 27 GPa). Нанесение данного покрытия приводит к упрочнению поверхности сапфировых пластин на 22-23%. Высокая производительность и осуществление синтеза в открытой атмосфере позволяют рассматривать предложенную методику как перспективную для получения сверхтвердых покрытий с высокой резистентностью к кислороду. Ключевые слова: рутил, сапфир, титан, низкотемпературная плазма, азот, микротвердость.
- D. Wojcieszak, M. Mazur, J. Indyka, A. Jurkowska, M. Kalisz, P. Domanowski, D. Kaczmarek, J. Domaradzki, Mater. Sci.-Poland, 33 (3), 660 (2015). DOI: 10.1515/msp-2015-0084
- K. Yamaguchi, Y. Konaka, N. Ohtsu, Surf. Coat. Technol., 386, 125424 (2020). doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.125424
- D. Kaczmarek, J. Domaradzki, D. Wojcieszak, E. Prociow, M. Mazur, F. Placido, S. Lapp, J. Nano Res., 18-19, 195 (2012). DOI: 10.4028/www.scientific.net/JNanoR.18-19.195
- L.S. Dubrovinsky, N.A. Dubrovinskaia, V. Swamy, J. Muscat, N.M. Harrison, R. Ahuja, B. Holm, B. Johansson, Nature, 410, 653 (2001). DOI: 10.1038/35070650
- V.V. Budilov, K.N. Ramazanov, Yu.G. Khusainov, I.V. Zolotov, S.V. Starovoitov, J. Eng. Sci. Technol. Rev., 8 (6), 25 (2015)
- М.Е. Конищев, О.С. Кузьмин, А.А. Пустовалова, Н.С. Морозова, К.Е. Евдокимов, Р.А. Сурменев, В.Ф. Пичугин, М. Эппле, Изв. вузов. Физика, 56 (10), 35 (2013). [Пер. версия: 10.1007/s11182-014-0154-5]
- А.П. Достанко, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, С.Н. Мельников, Д.Э. Окоджи, Д.Д. Котинго, Г.М. Рубан, ПФМТ, N 2 (27), 12 (2016)
- В.П. Власов, А.В. Буташин, В.М. Каневский, А.Э. Муслимов, В.А. Бабаев, А.М. Исмаилов, М.Х. Рабаданов, Кристаллография, 59 (3), 467 (2014). DOI: 10.7868/S0023476114030230
- Э.Х. Исакаев, О.А. Синкевич, А.С. Тюфтяев, В.Ф. Чиннов, ТВТ, 48 (1), 105 (2010)
- М.Х. Гаджиев, А.С. Тюфтяев, А.Э. Муслимов, В.М. Каневский, А.М. Исмаилов, В.А. Бабаев, Письма в ЖТФ, 45 (22), 3 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.22.48639.17951
- A. Navrotsky, O.J. Kleppa, J. Am. Ceram. Soc., 50 (11), 626 (1967). https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1967.tb15013.x
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.