Особенности инициирования эффекта полого катода в электродной системе тлеющего разряда с протяженной катодной щелью
Ministry of Higher Education and Science, FEWM-2020-0038
Климов А.С.
1, Бакеев И.Ю.
1, Зенин А.А.
1, Окс Е.М.
1,2, Чан В.Т.
11Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: klimov@main.tusur.ru, bakeeviyu@mail.ru, zenin1988@gmail.com, oks@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 20 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 3 июля 2021 г.
Принята к печати: 6 июля 2021 г.
Выставление онлайн: 11 августа 2021 г.
Представлены результаты исследований влияния размеров катодной щели на инициирование эффекта полого катода в системе тлеющего разряда с протяженным прямоугольным полым катодом. Установлено, что пороговый ток перехода разряда в режим горения с полым катодом определяется размерами катодной щели. С уменьшением ширины щели пороговый ток непропорционально возрастает, с увеличением продольного размера щели этот ток резко снижается. Ключевые слова: тлеющий разряд, катодный слой, протяженный полый катод, эффект полого катода.
- Б.И. Москалев, Разряд с полым катодом (Энергия, М., 1969)
- А.С. Метель, С.Н. Григорьев, Тлеющий разряд с электростатическим удержанием электронов. Физика, техника, применение (МГТУ "Станкин", М., 2005)
- N.V. Gavrilov, G.A. Mesyats, G.V. Radkovski, V.V. Bersenev, Surface Coat. Technol., 96 (1), 81 (1997)
- В.А. Бурдовицин, Е.М. Окс, Изв. вузов. Физика, 63 (10), 33 (2020). DOI: 10.17223/00213411/63/10/33 [V.A. Burdovitsin, E.M. Oks, Russ. Phys. J., 63, 1678 (2021). DOI: 10.1007/s11182-021-02221-9]
- А.П. Семенов, ЖТФ, 77 (2), 131 (2007). [A.P. Semenov, Tech. Phys., 52 (2), 276 (2007). DOI: 10.1134/S1063784207020211]
- W.M. Manheimer, R.F. Fernsler, M. Lampe, R.A. Meger, Plasma Sources Sci. Technol., 9 (3), 37 (2000). DOI: 10.1088/0963-0252/9/3/316
- I.Y. Bakeev, A.S. Klimov, E.M. Oks, A.A. Zenin, Plasma Sources Sci. Technol., 27 (7), 075002 (2018). DOI: 10.1088/1361-6595/aacb55
- А.С. Климов, М.И. Ломаев, Е.М. Окс, А.П. Андрейчик, ЖТФ, 87 (2), 192 (2017). DOI: 10.21883/JTF.2017.02.44124.1825 [A.S. Klimov, M.I. Lomaev, E.M. Oks, A.P. Andreichik, Tech. Phys., 62 (2), 218 (2017). DOI: 10.1134/S1063784217020128]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.