Электропроводящие и фотоэлектрические свойства гетероструктур на основе оксидов галлия и хрома со структурой корунда
Алмаев Д.А.1, Алмаев А.В.1,2, Копьев В.В.1, Николаев В.И.3,4, Печников А.И.3, Степанов С.И.3, Бойко М.Е.3, Бутенко П.Н.1,3, Щеглов М.П.3
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
2ООО "Фокон", Калуга, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
Email: almaev001@mail.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2022 г.
В окончательной редакции: 28 сентября 2022 г.
Принята к печати: 29 сентября 2022 г.
Выставление онлайн: 29 октября 2022 г.
Методами хлоридной парофазной эпитаксии и магнетронного распыления получены гетероструктуры α-Ga2O3/α-Cr2O3 со структурой корунда. Исследованы структурные, электропроводящие и фотоэлектрические свойства полученных образцов. Установлено, что гетероструктуры α-Ga2O3/α-Cr2O3 демонстрируют слабые выпрямительные свойства и в сравнении с пленками α-Ga2O3 обладают более высоким быстродействием при воздействии ультрафиолетового излучения. Ключевые слова: оксид галлия, оксид хрома, корунд, анизотипные гетероструктуры.
- J. Moloney, O. Tesh, M. Singh, J.W. Roberts, J.C. Jarman, L.C. Lee, T.N. Huq, J. Brister, S. Karboyan, M. Kuball, P.R. Chalker, R.A. Oliver, F.C.-P. Massabuau, J. Phys. D: Appl. Phys., 52 (47), 475101 (2019). DOI: 10.1088/1361-6463/ab3b76
- K. Akaiwa, K. Kaneko, K. Ichino, S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys., 55, (12) 1202BA (2016). DOI: 10.7567/JJAP.55.1202BA
- A.K. Mondal, M.A. Mohamed, L.K. Ping, M.F.M. Taib, M.H. Samat, M.A.S.M. Haniff, R. Bahru, Materials, 14 (3), 604 (2021). DOI: 10.3390/ma14030604
- X.Y. Sun, X.H. Chen, J.G. Hao, Z.P. Wang, Y. Xu, H.H. Gong, Y.J. Zhang, X.X. Yu, C.D. Zhang, F.-F. Ren, S.L. Gu, R. Zhang, J.D. Ye, Appl. Phys. Lett., 119 (14), 141601 (2021). DOI: 10.1063/5.0059061
- X. Zhao, Z. Wu, D. Guo, W. Cui, P. Li, Y. An, L. Li, W. Tang, Semicond. Sci. Technol., 31 (6), 065010 (2016). DOI: 10.1088/0268-1242/31/6/065010
- D.Y. Guo, X.L. Zhao, Y.S. Zhi, W. Cui, Y.Q. Huang, Y.H. An, P.G. Li, Z.P. Wu, W.H. Tang, Mater. Lett., 164, 364 (2015). DOI: 10.1016/j.matlet.2015.11.001
- X. Hou, Y. Zou, M. Ding, Y. Qin, Z. Zhang, X. Ma, P. Tan, S. Yu, X. Zhou, X. Zhao, G. Xu, H. Sun, S. Long, J. Phys. D: Appl. Phys., 54 (4), 043001 (2020). DOI: 10.1088/1361-6463/abbb45
- S.J. Pearton, J. Yang, P.H. Cary, F. Ren, J. Kim, M.J. Tadjer, M.A. Mastro, Appl. Phys. Rev., 5 (1), 011301 (2018). DOI: 10.1063/1.5006941
- D. Kaur, M. Kumar, Adv. Opt. Mater., 9 (9), 2002160 (2021). DOI: 10.1002/adom.202002160
- Y. Xu, C. Zhang, Y. Cheng, Z. Li, Y. Cheng, Q. Feng, D. Chen, J. Zhang, Y. Hao, Materials, 12 (22), 3670 (2019). DOI: 10.3390/ma12223670
- J.A. Spencer, A.L. Mock, A.G. Jacobs, M. Schubert, Y. Zhang, M.J. Tadjer, Appl. Phys. Rev., 9 (1), 011315 (2022). DOI: 10.1063/5.0078037
- L. Farrell, K. Fleischer, D. Caffrey, D. Mullarkey, E. Norton, I.V. Shvets, Phys. Rev. B, 91 (12), 125202 (2015). DOI: 0.1103/PhysRevB.91.125202
- А.В. Алмаев, Б.О. Кушнарев, Е.В. Черников, В.А. Новиков, Письма в ЖТФ, 46 (20), 35 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.20.50154.18342 [A.V. Almaev, B.O. Kushnarev, E.V. Chernikov, V.A. Novikov, Tech. Phys. Lett., 46, 1028 (2020). DOI: 10.1134/S106378502010017X]
- Z. Fan, M. Zhu, S. Pan, J. Ge, L. Hu, Ceram. Int., 47 (10A), 13655 (2021). DOI: 10.1016/j.ceramint.2021.01.226
- A. Polyakov, V. Nikolaev, S. Stepanov, A. Almaev, A. Pechnikov, E. Yakimov, B.O. Kushnarev, I. Shchemerov, M. Scheglov, A. Chernykh, A. Vasilev, A. Kochkova, S.J. Pearton, J. Appl. Phys., 131 (21), 215701 (2022). DOI: 10.1063/5.0090832
- A.V. Almaev, B.O. Kushnarev, E.V. Chernikov, V.A. Novikov, P.M. Korusenko, S.N. Nesov, Superlatt. Microstruct., 151, 106835 (2021). DOI: 10.1016/j.spmi.2021.106835
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.