Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Теоретическая зависимость пороговой энергии распыления мишени от угла падения первичных ионов
Переводная версия: 10.21883/TPL.2023.01.55343.19206 
Пустовит А.Н.
1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия 
Email: pustan@iptm.ru
Поступила в редакцию: 30 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 22 октября 2022 г.
Принята к печати: 4 ноября 2022 г.
Выставление онлайн: 10 декабря 2022 г.
Для расчета угловой зависимости пороговой энергии распыления от отношения масс мишени и падающих ионов использовано явление блокировки поверхности мишени. Установлено, что угловая зависимость пороговой энергии распыления изменяется обратно пропорционально косинусу угла падения ионов на мишень (отсчет угла от нормали к поверхности мишени) в степени s/2 (s - степенной показатель в потенциале взаимодействия сталкивающихся частиц). Проведено сравнение полученных результатов с литературными данными. Ключевые слова: распыление, пороговая энергия, конус затенения, угол падения ионов.
- B. Rauschenbach, Low-energy ion irradiation of materials. Fundamentals and application. Springer Ser. in Materials Science (Springer, Cham, 2022), vol. 324. DOI: 10.1007/978-3-030-97277-6
- W. Eckstein, R. Preuss, J. Nucl. Mater., 320 (3), 209 (2003). DOI: 10.1016/S0022-3115(03)00192-2
- Х. Андерсен, Х. Баи, в кн. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1. Физическое распыление одноэлементных твердых тел, под ред. Р. Бериша (Мир, М., 1984), с. 194. [H.H. Andersen, H.L.Bay, in Sputtering by particle bombardment. I. Physical sputtering of single element solids, ed. by R. Behrisch. Topics in Applied Physics (Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-N.Y., 1981), vol. 47, p. 145
- М.Д. Габович, Н.В. Плешивцев, Н.Н. Семашко, в кн. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей (Энергоатомиздат, М., 1986), c. 71--111
- W. Eckstein, C. Garcia-Rosales, J. Roth, J. Laszlo, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 83 (1-2), 95 (1993). DOI: 10.1016/0168-583X(93)95913-P
- C. Yan, Q.I. Zhang, AIP Adv., 2 (3), 032107 (2012). DOI: 10.1063/1.4738951
- R. Behrisch, G. Maderlechner, B.M.U. Scherzer, M.T. Robinson, Appl. Phys., 18 (4), 391 (1979). DOI: 10.1007/BF00899693
- А.Н. Пустовит, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 10, 77 (2017). DOI: 10.7868/S0207352817100122 [A.N. Pustovit, J. Surf. Investig., 11 (5), 1069 (2017). DOI: 10.1134/S1027451017050342]
- А.Н. Пустовит, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 4, 106 (2022). DOI: 10.31857/S1028096022010162 [A.N. Pustovit, J. Surface Investig., 15 (Suppl. 1), S204 (2021). DOI: 10.1134/S1027451022010165]
- В. Экштайн, Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела, пер. с англ. под ред. Е.С. Машковой (Мир, М., 1995). [W. Eckstein, Computer simulation of ion-solid interactions (Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg, 1991). DOl: 10.1007/978-3-642-73513-4]
- W. Eckstein, C. Garcia-Rosales, J. Roth, W. Ottenberger, Sputtering data, IPP 9/82 (Max-Planck-Institut fur Plasmaphysik, Garching, 1993)
- D.E. Harrison, Jr., G.D. Magnuson, Phys. Rev., 122 (5), 1421 (1961). DOI: 10.1103/PhysRev.122.1421
- Y. Yamamura, J. Bohgdansky, Vacuum, 35 (12), 561 (1985). DOI: 10.1016/0042-207X(85)90316-1
- Y. Yao, Z. Hargitai, M. Albert, R.G. Albridge, A.V. Barnes, J.M. Gilligan, B.P. Ferguson, G. Lupke, V.D. Gordon, N.H. Tolk, Phys. Rev. Lett., 81 (3), 550 (1998). DOI: S0031-9007(98)06668-X
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
