Осаждение прозрачных покрытий Al2O3 с экстремальными свойствами смачивания методом наносекундной лазерной абляции алюминия в фоновом кислороде
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , 121031700314-5
government contract with IT SB RAS
Russian Federation Government to support scientific research led by leading scientists (mega-grant), 075-15-2021-575
Родионов А.А.
1,2, Мельник А.В.
1,2, Суляева В.С.
3, Шухов Ю.Г.
1, Васильев М.М.
1,2, Старинский С.В.
1,21Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: alderad@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 30 июня 2023 г.
Принята к печати: 5 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 3 августа 2023 г.
Методом наносекундного лазерного осаждения в фоновом кислороде синтезированы прозрачные наноструктуры оксида алюминия с экстремальными свойствами смачивания. Проанализированы прозрачность и морфология образцов. Обнаружено немонотонное поведение коэффициента пропускания при варьировании давления фонового кислорода в диапазоне 20-140 Pa, обусловленное различиями в кинетике разлета продуктов абляции. Исследована эволюция контактного угла смачивания от ~ 5 до ~ 120o при хранении покрытий на воздухе при нормальных условиях. Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, лазерная абляция в фоновом газе.
- J. Drelich, A. Marmur, Surf. Innov., 2 (4), 211 (2014). DOI: 10.1680/si.13.00017
- L. Zhai, M.C. Berg, F. С. Cebeci, Y. Kim, J.M. Milwid, M.F. Rubner, R.E. Cohen, Nano Lett., 6 (6), 1213 (2006). DOI: 10.1021/nl060644q
- M. Nie, P. Patel, K. Sun, D.D. Meng, in 4th IEEE Int. Conf. on nano/micro engineered and molecular systems (IEEE, 2009), p. 1017. DOI: 10.1109/NEMS.2009.5068746
- R.E. Baier, J. Mater. Sci. Mater. Med., 17 (11), 1057 (2006). DOI: 10.1007/s10856-006-0444-8
- L. Waller, O. Jonsson, L. Norlen, L. Sullivan, J. Urol., 153 (2), 345 (1995). DOI: 10.1097/00005392-199502000-00014
- S. Yu, Z. Guo, W. Liu, Chem. Commun., 51 (10), 1775 (2015). DOI: 10.1039/C4CC06868H
- H. Korhonen, A. Syvaluoto, J.T.T. Leskinen, R. Lappalainen, Opt. Laser Technol., 98, 373 (2018). DOI: 10.1016/j.optlastec.2017.07.050
- R.N. Wenzel, Ind. Eng. Chem., 28 (8), 988 (1936). DOI: 10.1021/ie50320a024
- K.E. Tettey, M.I. Dafinone, D. Lee, Mater. Express, 1 (2), 89 (2011). DOI: 10.1166/mex.2011.1021
- O. Carp, C.L. Huisman, A. Reller, Prog. Solid State Chem., 32 (1-2), 33 (2004). DOI: 10.1016/j.progsolidstchem.2004.08.001
- S.V. Starinskiy, A.I. Safonov, V.S. Sulyaeva, A.A. Rodionov, Yu.G. Shukhov, A.V. Bulgakov, Thin Solid Films, 714, 138392 (2020). DOI: 10.1016/j.tsf.2020.138392
- A.V. Bulgakov, N.M. Bulgakova, J. Phys. D.: Appl. Phys., 28 (8), 1710 (1995). DOI: 10.1088/0022-3727/28/8/022
- A.A. Rodionov, S.V. Starinskiy, Yu.G. Shukhov, A.V. Bulgakov, Thermophys. Aeromech., 28 (4), 549 (2021). DOI: 10.1134/S0869864321040089
- S.S. Harilal, C.V. Bindhu, M.S. Tillack, F. Najmabadi, A.C. Gaeris, J. Appl. Phys., 93 (5), 2380 (2003). DOI: 10.1063/1.1544070
- H.B. Eral, D.J.C.M. 't Mannetje, J.M. Oh, Colloid Polym. Sci., 291 (2), 247 (2013). DOI: 10.1007/s00396-012-2796-6
- F. Di Fonzo, D. Tonini, A. Li Bassi, C.S. Casari, M.G. Beghi, C.E. Bottani, D. Gastaldi, P. Vena, R. Contro, Appl. Phys. A, 93 (3), 765 (2008). DOI: 10.1007/s00339-008-4720-y
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.