Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности интерференционных явлений в пленках ZnO, полученных методом магнетронного осаждения
Исмаилов А.М.
1, Муслимов А.Э.2
1Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия 
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: egdada@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 июня 2023 г.
В окончательной редакции: 7 сентября 2023 г.
Принята к печати: 2 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 25 декабря 2023 г.
Исследованы процессы управляемого текстурирования пленок ZnO на r-плоскости Al2O3 с буферным слоем золота с учетом свободного потенциала при магнетронном осаждении и интерференционные явления в них. Показано, что в зависимости от положения подложки в объеме разряда могут формироваться как гладкие [001]-текстурированные, так и шероховатые битекстурированные пленки ZnO. Классическая интерференционная картина наблюдается только в гладких текстурированных пленках. Синтезированные прозрачные пленочные структуры на основе ZnO в перспективе могут быть использованы в качестве интерференционных сенсоров для оценки показателя преломления окружающей среды. Ключевые слова: ZnO, магнетронное осаждение, интерференция, датчик показателя преломления.
- E. Chow, A. Grot, L.W. Mirkarimi, M. Sigalas, G. Girolami, Opt. Lett., 29 (10), 1093 (2004). DOI: 10.1364/ol.29.001093
- C.A. Barrios, K.B. Gylfason, B. Sanchez, A. Griol, H. Sohlstrom, M. Holgado, R. Casquel, Opt. Lett., 32 (21), 3080 (2007). DOI: 10.1364/OL.32.003080
- N.M. Hanumegowda, C.J. Stica, B.C. Patel, I. White, X. Fan, Appl. Phys. Lett., 87 (20), 201107 (2005). DOI: 10.1063/1.2132076
- Z. Li, L. Hou, L. Ran, J. Kang, J. Yang, Sensors, 19 (18), 3820 (2019). DOI: 10.3390/s19183820
- E. Obeng, J. Feng, D. Wang, D. Zheng, B. Xiang, J. Shen, Front. Chem., 10, 1054739 (2022). DOI: 10.3389/fchem.2022.1054739
- K.L. Chopra, J. Appl. Phys., 37 (6), 2249 (1966). DOI: 10.1063/1.1708795
- M. Soylu, M. Coskun, J. Alloys Compd., 741, 957 (2018). DOI: 10.1016/j.jallcom.2018.01.079
- T. Trautnitz, R. Sorgenfrei, M. Fiederle, J. Cryst. Growth, 312 (4), 624 (2010). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2009.12.011
- А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, К.В. Оскомов, С.В. Работкин, Физика плазмы, 35 (5), 443 (2009). [A.A. Solov'ev, N.S. Sochugov, K.V. Oskomov, S.V. Rabotkin, Plasma Phys. Rep., 35 (5), 399 (2009). DOI: 10.1134/S1063780X09050055]
- D.J. Field, S.K. Dew, R.E. Burrell, J. Vac. Sci. Technol. A, 20 (6), 2032 (2002). DOI: 10.1116/1.1515800
- D.D. Yanti, E. Maryanti, J. Sci. Appl. Technol., 5 (1), 198 (2021). DOI: 10.35472/jsat.v5i1.372
- H. Davies, Proc. Inst. Electr. Eng., 101, 209 (1954)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
