Анализ поверхностного слоя пленки платины, выращенной методом ионно-плазменного распыления на подложках Si (001) и MgO (001)
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Государственное задание ЮНЦ РАН, 122020100294-9
Зинченко С.П.
1,2, Широков В.Б.
1,2, Павленко А.В.
1,2, Киселева Л.И.
11Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия
Email: zinch5050@mail.ru, shirokov-vb@rambler.ru, tolik_260686@mail.ru, kislinka@list.ru
Поступила в редакцию: 31 июля 2023 г.
В окончательной редакции: 13 сентября 2023 г.
Принята к печати: 10 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 25 декабря 2023 г.
Методом ионно-плазменного (катодного) распыления на постоянном токе на (001) срез монокристаллических подложек кремния и оксида магния нанесены пленки платины. Выполнены измерения угловой зависимости коэффициентов отражения оптических мод E- и H-поляризаций лазерного излучения с длиной волны 632.8 nm. Показано, что в пределах погрешности измерений недостаточно использовать обычные формулы отражения с оптическими параметрами платины, необходимо дополнительно ввести эффективный анизотропный слой, связанный с неоднородностью поверхности. Ключевые слова: ионно-плазменное напыление, пленка платины, рельефная поверхность, эффективный слой.
- A.F. Mayadas, M. Shatzkes, Phys. Rev. B, 1 (4), 1382 (1970). DOI: 10.1103/PhysRevB.1.1382
- J. Sotelo, J. Ederth, G. Niklasson, Phys. Rev. B, 67 (19), 195106 (2003). DOI: 10.1103/PhysRevB.67.195106
- R.A. Synowicki, C.M. Herzinger, J.T. Hall, A. Malingowski, Appl. Surf. Sci., 421 (Pt B), 824 (2017). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.03.126
- V.S. Makin, Yu.I. Pestov, P. Kohns, J. Opt. Technol., 73 (6), 413 (2006). DOI: 10.1364/JOT.73.000413
- A.K. Tagantsev, L.E. Cross, J. Fousek, Domains in ferroic crystals and thin films (Springer, N.Y., 2010). DOI: 10.1007/978-1-4419-1417-0
- С.П. Зинченко, А.П. Ковтун, Г.Н. Толмачёв, Рос. нанотехнологии, 5 (5-6), 77 (2010). [S.P. Zinchenko, A.P. Kovtun, G.N. Tolmachev, Nanotechnologies in Russia, 5 (5-6), 328 (2010). DOI: 10.1134/S1995078010050071]
- A.D. Rakic, A.B. Djuri\^sic, J.M. Elazar, M.L. Majewski, Appl. Opt., 37 (22), 5271 (1998). DOI: 10.1364/AO.37.005271
- W.S.M. Werner, K. Glantschnig, C. Ambrosch-Draxl, J. Phys. Chem. Ref. Data, 38 (4), 1013 (2009). DOI: 10.1063/1.3243762
- М. Борн, Э. Вольф, Основы оптики (Наука, М., 1973). [M. Born, E. Wolf, Principles of optics (Pergamon Press, Oxford, 1970).].
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
