Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Синтез тонких пленок MgAl2O4 анодным испарением Al и Mg в дуге низкого давления (Ar/О2, 1 Pa)
the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , the framework of event No. 3.2.7, 075‐15‐2021‐1348
Гаврилов Н.В.
1, Емлин Д.Р.
1, Медведев А.И.
1
1Институт электрофизики Уральского отделения РАН, Екатеринбург, Россия 
Email: gavrilov@iep.uran.ru, erd@iep.uran.ru, a.i.medvedev@mail.ru
Поступила в редакцию: 11 июля 2023 г.
В окончательной редакции: 20 октября 2023 г.
Принята к печати: 9 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 13 января 2024 г.
Реактивным анодным испарением Al и Mg в дуге низкого давления (Ar/O2, 1 Pa) и осаждением паров при ~ 400oC синтезированы пленки алюмомагниевой шпинели. Низкотемпературный синтез пленок происходил в условиях воздействия потока ионов (25-100 eV, 1-2 mA/cm2) со значительным содержанием металлических ионов. Пленки кубической шпинели имели сильную текстуру (100) и уровень микроискажений кристаллической решетки ~ 1%. Скорость осаждения пленок с регулируемым в пределах 1.2-2.4 относительным содержанием атомов Al и Mg составляла 1-3 μm/h. Ключевые слова: анодное испарение, ионная бомбардировка, алюмомагниевая шпинель, самонакаливаемый катод, тонкие пленки.
- I. Ganesh, Int. Mater. Rev., 58 (2), 63 (2013). DOI: 10.1179/1743280412Y.0000000001
- A.V. Stanchik, V.F. Gremenok, E.L. Trukhanova, V.V. Khoroshko, S.X. Suleymanov, V.G. Dyskin, M.U. Djanklich, N.A. Kulagina, S.Y. Amirov, Comput. Nanotechnol., 1, 125 (2022). DOI: 10.33693/2313-223X-2022-9-1-125-131
- G. Gusmano, G. Montesperelli, E. Traversa, A. Bearzotti, G. Petrocco, A. D'Amico, C. Di Natale, Sensors Actuators B, 7, 460 (1992). DOI: 10.1016/0925-4005(92)80344-W
- M. Saraiva, R. Persoons, D. Depla, J. Appl. Phys., 111, 103532 (2012). DOI: 10.1063/1.4722173
- J.M. Schneider, W.D. Sproul, A.A. Voevodin, A. Matthews, J. Vac. Sci. Technol. A, 15, 1084 (1997). DOI: 10.1116/1.580434
- А.С. Каменецких, Н.В. Гаврилов, П.В. Третников, А.В. Чукин, А.И. Меньшаков, С.О. Чолах, Изв. вузов. Физика, N 10, 144 (2020). DOI: 10.17223/00213411/63/10/144 [A.S. Kamenetskikh, N.V. Gavrilov, P.V. Tretnikov, A.V. Chukin, A.I. Men'shakov, S.O. Cholakh, Russ. Phys. J., 63, 1797 (2021). DOI: 10.1007/s11182-021-02236-2]
- Н.В. Гаврилов, А.С. Каменецких, Д.Р. Емлин, П.В. Третников, А.В. Чукин, ЖТФ, 89 (6), 861 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.06.47632.214-18 [N.V. Gavrilov, A.S. Kamenetskikh, D.R. Emlin, P.V. Tretnikov, A.V. Chukin, Tech. Phys., 64, 807 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219060082]
- R.E. Honig, RCA Rev., 18, 195 (1957)
- А.Д. Зимон, Адгезия пленок и покрытий (Химия, М., 1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
