Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2024, выпуск 13 » Статья стр. 12
<<<>>>
Термический отжиг многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым содержанием sp3-фазы
Российский научный фонд, Президентская программа исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 22-79-00021
Охапкин А.И. 1, Краев С.А.1, Юнин П.А.1, Королев С.А.1, Радищев Д.Б.2, Kumar N.3
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
3Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: poa89@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 9 февраля 2024 г.
В окончательной редакции: 12 марта 2024 г.
Принята к печати: 21 марта 2024 г.
Выставление онлайн: 7 июня 2024 г.
PDF версия
Исследовано влияние термического отжига на фазовый состав, структурные и морфологические свойства многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым соотношением sp2/sp3-фаз. Оказалось, что быстрый отжиг в среде аргона приводит к потере структурной периодичности пленок и увеличению содержания графитовых кластеров наряду с уменьшением доли водорода. Наблюдалось также улучшение морфологии поверхности отожженных образцов по сравнению с исходной пленкой. Ключевые слова: алмазоподобный углерод, многослойные пленки, плазмохимическое осаждение, термический отжиг.
  1. N. Yamauchi, A. Okamoto, H. Tukahara, K. Demizu, N. Ueda, T. Sone, Y. Hirose, Surf. Coat. Technol., 174-175, 465 (2003). DOI: 10.1016/S0257-8972(03)00406-7
  2. M. Massi, H.S. Maciel, C. Otani, R.D. Mansano, P. Verdonck, J. Mater.: Sci. Mater. Electron., 12 (4-6), 343 (2001). DOI: 10.1023/A:1011252629646
  3. H. Kinoshita, T. Hando, M. Yoshida, J. Appl. Phys., 89 (5), 2737 (2001). DOI: 10.1063/1.1344586
  4. C. Li, L. Huang, J. Yuan, Materials, 13 (8), 1911 (2020). DOI: 10.3390/ma13081911
  5. П.А. Юнин, А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, С.А. Королев, Е.А. Архипова, С.А. Краев, Ю.Н. Дроздов, В.И. Шашкин, Д.Б. Радищев, ФТП, 54 (9), 855 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.09.49820.12 [P.A. Yunin, A.I. Okhapkin, M.N. Drozdov, S.A. Korolev, E.A. Arkhipova, S.A. Kraev, Yu.N. Drozdov, V.I. Shashkin, D.B. Radishev, Semiconductors, 54 (9), 1047 (2020). DOI: 10.1134/S1063782620090316]
  6. А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, П.А. Юнин, С.А. Краев, Д.Б. Радищев, ФТП, 57 (5), 309 (2023). DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56195.09k [A.I. Okhapkin, M.N. Drozdov, P.A. Yunin, S.A. Kraev, D.B. Radishev, Semiconductors, 57 (5), 303 (2023).]
  7. A.C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B, 61 (20), 14095 (2000). DOI: 10.1103/PhysRevB.61.14095
  8. A. Singha, A. Ghosh, N.R. Ray, A. Roy, J. Appl. Phys., 100 (4), 044910 (2006). DOI: 10.1063/1.2219983
  9. C. Casiraghi, F. Piazza, A.C. Ferrari, D. Grambol, J. Robertson, Diam. Relat. Mater., 14 (3-7), 1098 (2005). DOI: 10.1016/j.diamond.2004.10.030
  10. A. El Khalfi, E.M. Ech-chamikh, Y. Ijdiyao, M. Azizan, A. Essafti, L. Nkhaili, A. Outzourhit, Spectrosc. Lett., 47 (5), 392 (2014). DOI: 10.1080/00387010.2013.840849
  11. R.I. Mashkovtsev, V.G. Thomas, Appl. Magn. Reson., 28 (3-4), 401 (2005). DOI: 10.1007/BF03166771
  12. M.C. Salvadori, D.R. Martins, M. Cattani, Surf. Coat. Technol., 200 (16-17), 5119 (2006). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2005.05.030

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme