Особенности угловой зависимости коэффициента распыления германия фокусированным ионным пучком галлия
Ministry of Education and Science of the Russian Federation, FENZ-2024-0005
Смирнова М.А.
1,2, Лобзов К.Н.
1,2, Бачурин В.И.
2, Мазалецкий Л.А.
1,2, Пухов Д.Э.
2, Чурилов А.Б.
21Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
Email: masha_19957@mail.ru, kostya.lobzov@mail.ru, vibachurin@mail.ru, boolvinkl@yandex.ru, puhov2005@yandex.ru, abchurilov@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 28 июня 2024 г.
Принята к печати: 18 июля 2024 г.
Выставление онлайн: 5 ноября 2024 г.
Представлены угловые зависимости коэффициентов распыления Ge и Si фокусированным ионным пучком Ga+ с энергией 30 keV. Сравнение экспериментальной угловой зависимости коэффициента распыления Ge с соответствующими данными моделирования в программе SDTrimSP выявило существенные различия. При углах падения ионов от 0 до 50o экспериментальные данные превышают расчетные, а при бoльших углах имеют более низкие значения, в то время как для Si эти зависимости хорошо согласуются. Особенности угловой зависимости коэффициента распыления Ge объясняются развитием и изменением топографии поверхности при наклонном падении ионов. Ключевые слова: германий, ионная бомбардировка, коэффициент распыления, топография поверхности.
- Н.И. Боргардт, Р.Л. Волков, А.В. Румянцев, Ю.А. Чаплыгин, Письма в ЖТФ, 41 (12), 97 (2015). [N.I. Borgardt, R.L. Volkov, A.V. Rumyantsev, Yu.A. Chaplygin, Tech. Phys. Lett., 41 (6), 610 (2015). DOI: 10.1134/S106378501506019X]
- В.И. Бачурин, И.В. Журавлев, Д.Э. Пухов, А.С. Рудый, С.Г. Симакин, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 8, 34 (2020). DOI: 10.31857/S102809602008004X [V.I. Bachurin, I.V. Zhuravlev, D.E. Pukhov, A.S. Rudy, S.G. Simakin, M.A. Smirnova, A.B. Churilov, J. Surf. Investig., 14 (4), 784 (2020). DOI: 10.1134/S1027451020040229]
- A.V. Rumyantsev, N.I. Borgardt, R.L. Volkov, Yu.A. Chaplygin, Vacuum, 202, 111128 (2022). DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111128
- N.G. Rudawski, B.L. Darby, B.R. Yates, K.S. Jones, R.G. Elliman, A.A. Volinsky, Appl. Phys. Lett., 100 (8), 083111 (2012). DOI: 10.1063/1.3689781
- D.J. Erb, D.A. Pearson, T. v Skerev n, M. Engler, R.M. Bradley, S. Fasco, Phys. Rev. B, 109 (4), 045439 (2024). DOI: 10.1103/PhysRevB.109.045439
- Т.П. Гаврилова, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, А.М. Рогов, Д.А. Коновалов, С.М. Хантимеров, А.Л. Степанов, ЖТФ, 94 (4), 613 (2024). DOI: 10.610.11/JTF.2024.04.57532.276-23 [T.P. Gavrilova, V.F. Valeev, V.I. Nuzhdin, A.M. Rogov, D.A. Konovalov, S.M. Khantimerov, A.L. Stepanov, Tech. Phys., 69 (4), 578 (2024). DOI: 10.61011/JTF.2024.04.57532.276-23]
- N. Oishi, F. Koga, N. Nitta, Vacuum, 213, 112123 (2023). DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112123
- N. Oishi, N. Higashide, N. Nitta, J. Appl. Phys., 135 (14), 144301 (2024). DOI: 10.1063/5.0199118
- M.A. Smirnova, V.I. Bachurin, D.E. Pukhov, L.A. Mazaletsky, M.E. Lebedev, A.B. Churilov, St. Petersburg Polytech. Univ. J. Physics and Mathematics, 16 (3.1), 21 (2023). DOI: 10.18721/JPM.163.103
- U. Littmark, W. Hoffer, J. Mater. Sci., 13 (12), 2577 (1978). DOI: 10.1007/BF00552687
- T.T. Jarvi, K. Nordlund, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 272, 66 (2012). DOI: 10.1016/j.nimb.2011.01.034
- А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов, С.Е. Свяховский, М.Т. Дроздов, В.О. Пеленович, Письма в ЖТФ, 45 (2), 39 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.02.47222.17563 [A.E. Ieshkin, A.B. Tolstoguzov, S.E. Svyakhovskiy, M.N. Drozdov, V.O. Pelenovich, Tech. Phys. Lett., 45 (1), 37 (2019). DOI: 10.1134/S1063785019010267]
- Y. Yamamura, H. Tawara, Atom. Data Nucl. Data Tabl., 62 (2), 149 (1996). DOI: 10.1006/adnd.1996.0005
- M.L. Nitiadi, L. Sandoval, H.M. Urbassek, W. Moller, Phys. Rev. B, 90 (4), 045417 (2014). DOI: 10.1103/PhysRevB.90.045417
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
