Вышедшие номера
Особенности доменной структуры многослойной пленки SnO2/Ga2O3/GaN/Al2O3
Бойко М.Е. 1, Шарков М.Д. 1, Бойко А.М.1, Бутенко П.Н.1, Алмаев А.В.2, Николаев В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: boikomix@gmail.com, mischar@mail.ru, andray599@gmail.com, pavel.butenko@mail.ioffe.ru, almaev_alex@mail.ru, nkvlad@inbox.ru
Поступила в редакцию: 11 июня 2024 г.
В окончательной редакции: 20 августа 2024 г.
Принята к печати: 21 августа 2024 г.
Выставление онлайн: 9 января 2025 г.

В пленке SnO2/Ga2O3/GaN/Al2O3, выращенной методами газофазной эпитаксии, проведено исследование доменообразования с помощью рентгеновской дифрактометрии. Получены оценки размеров доменов в направлении нормали к пленке в слоях образца и подложке. Установлено снижение степени совершенства слоев по мере удаления от подложки. Сформулирована гипотеза об аморфности либо наноструктурированности верхнего слоя диоксида олова. Ключевые слова: полупроводниковые гетероструктуры, многослойные пленки, рентгеновская дифрактометрия, доменная структура, совершенство кристаллов.