Высокоотражающее серебряное зеркало в условиях отжига и гидротермальной коррозии
Терещенко И.Б.1,2, Марчий Г.В.1, Самсонов Д.С.1,2, Мухин Е.Е.1,2, Капустин Ю.В.3, Калганов В.Д.4, Губаль А.Р.1, Комаревцев И.М.1,5
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ООО "Спектрал-Тех", Санкт-Петербург, Россия
3Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
4МРЦ по направлению «Нанотехнологии» СПбГУ, Санкт-Петербург, Россия
5Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия

Email: i.tereschenko@mail.ioffe.ru, georgiy.marchiy@mail.ioffe.ru, d.samsonov@mail.ioffe.ru, e.mukhin@mail.ioffe.ru, vanec@bk.ru
Поступила в редакцию: 2 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 30 октября 2024 г.
Принята к печати: 2 ноября 2024 г.
Выставление онлайн: 10 марта 2025 г.
Высокоотражающее тонкопленочное покрытие на основе Ag для зеркала оптической диагностики токамака ИТЭР испытано в условиях отжига при 250-310 oC и воздействия пара. Рост зерен Ag, вызванный повышенной температурой, идентифицирован как основная причина ухудшения отражательной способности и структуры покрытия. Коррозионное воздействие пара эффективно парируется наноламинатной барьерной композицией SiNx/(SiOx/SiN_x)2 поверх слоя Ag. Ключевые слова: серебряные зеркала, тонкие пленки, оптические покрытия, рост зерен, коррозия.
- D.S. Samsonov, I. Tereschenko, E.E. Mukhin, A. Gubal, Y. Kapustin, V. Filimonov, N. Babinov, A. Dmitriev, A. Nikolaev, I. Komarevtsev, A. Koval, A. Litvinov, G. Marchii, A. Razdobarin, L. Snigirev, S. Tolstyakov, G. Marinin, D. Terentev, A. Gorodetsky, R. Zalavutdinov, A. Markin, V. Bukhovets, I. Arkhipushkin, A. Borisov, V. Khripunov, V. Mikhailovskii, V. Modestov, I. Kirienko, I. Buslakov, P. Chernakov, A. Mokeev, M. Kempenaars, P. Shigin, E. Drapiko, Nucl. Fusion, 62 (8), 086014 (2022). DOI: 10.1088/1741-4326/ac5368
- A. Krimmer, E. Rosenthal, E. Andreenko, I. Orlovskiy, H.J. Allelein, Ph. Mertens, O. Neubauer, Fusion Eng. Des., 96- 97, 817 (2015). DOI: 10.1016/j.fusengdes.2015.06.061
- A. Antonaia, M.L. Addonizio, S. Esposito, M. Ferrara, A. Castaldo, A. Guglielmo, A. D'Angelo, Surf. Coat. Technol., 255, 96 (2014). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.02.045
- K.A. Folgner, C.-T. Chu, Z.R. Lingley, H.I. Kim, J.-M. Yang, J.D. Barrie, Appl. Opt., 56 (4), C75 (2017). DOI: 10.1364/AO.56.000C75
- D.A. Sheikh, S.J. Connell, R.S. Dummer, Proc. SPIE, 7010, 70104E (2008). DOI: 10.1117/12.789996
- C.-T. Chu, P.D. Fuqua, J.D. Barrie, Appl. Opt., 45 (7), 1583 (2006). DOI: 10.1364/AO.45.001583
- S. Schwinde, M. Schurmann, N. Kaiser, A. Tunnermann, Proc. SPIE, 9627, 96271R (2015). DOI: 10.1117/12.2191216
- R. Dannenberg, E. Stach, J.R. Groza, B.J. Dresser, Thin Solid Films, 379 (1-2), 133 (2000). DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01570-4
- Specification_of_the_steam_and_humidity_RZC73S_v1_6 (2016)
- E. Chason, P.R. Guduru, J. Appl. Phys., 119 (19), 191101 (2016). DOI: 10.1063/1.4949263
- A.G. Evans, J.W. Hutchinson, Acta Met. Mater., 43 (7), 2507 (1995). DOI: 10.1016/0956-7151(94)00444-M
- P. Jacquet, R. Podor, J. Ravaux, J. Teisseire, I. Gozhyk, J. Jupille, R. Lazzari, Scripta Mater., 115, 128 (2016). DOI: 10.1016/j.scriptamat.2016.01.005
- S.K. Sharma, J. Spitz, Thin Solid Films, 65 (3), 339 (1980). DOI: 10.1016/0040-6090(80)90244-8
- M. Wagih, C.A. Schuh, Acta Mater., 217, 117177 (2021). DOI: 10.1016/j.actamat.2021.117177