Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2025, выпуск 17 » Статья стр. 45
<<<>>>
Формирование дифракционной решетки на основе нанопористого германия имплантацией ионов висмута
Russian Scientific Foundation, 25-29-00022
Степанов А.Л. 1, Рогов А.М.1, Сотникова В.Ф.1, Валеев В.Ф.1, Нуждин В.И.1, Коновалов Д.А.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 24 апреля 2025 г.
В окончательной редакции: 24 апреля 2025 г.
Принята к печати: 23 июня 2025 г.
Выставление онлайн: 24 июля 2025 г.
PDF версия
Сформирована дифракционная решетка на основе слоя нанопористого Ge (PGe) методом облучения ионами 209Bi++ подложки монокристаллического c-Ge (Bi:PGe) через сетчатую медную маску с размером ячеек 40 μm при энергии E=72  keV, плотности тока в ионном пучке J=5 μA/cm2 и дозе D=6.2· 1015 ion/cm2. В процессе ионной имплантации в немаскированных областях облучаемого c-Ge происходит распухание слоя Bi:PGe. Формирование периодических микроструктур Bi:PGe на поверхности c-Ge контролировалось методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционной решетки показана путем ее зондирования излучением гелий-неонового лазера. Ключевые слова: нанопористый германий, ионная имплантация, дифракционная решетка.
  1. Z. Zhou, W. Liu, Y. Guo, H. Huang, X. Ding, Coatings, 12, 1653 (2022). DOI: 10.3390/coatings12111653
  2. D. Cavalcoli, M.A. Fazio, Mater. Sci. Semicond. Process., 92, 28 (2019). DOI: 10.1016/j.mssp.2018.05.027
  3. J. Song, S. Yuan, C. Cui, Y. Wang, Z. Li, A.X. Wang, C. Zeng, J. Xia, Nanophotonics, 10, 1081 (2021). DOI: 10.1515/nanoph-2020-0455
  4. S. An, Y. Liao, S. Shin, M. Kim, Adv. Mater. Technol., 7, 2100912 (2022). DOI: 10.1002/admt.2021100912
  5. Y. Zhang, X. Cao, Y. Ding, Z. Xue, X. Liu, S. Li, J. Sun, Y. Jin, A. Wu, IEEE Photon. J., 14, 464506 (2022). DOI: 10.1109/JPHOT.2022.3207805
  6. K. Wang, Y. Zhang, J. Chen, Q. Li, F. Tang, X. Ye, W. Zheng, Coatings, 14, 262 (2024). DOI: 10.3390/coatings14030262
  7. L. Luo, S. Shan, X. Li, Sensors, 24, 6617 (2024). DOI: 10.3390/s24206617
  8. Y. Wang, Y. Yuan, K. Zhang, Adv. Phys. Res., 3, 2400076 (2024). DOI: 10.1002/apxr.202400076
  9. Y. Chen, C. Zhang, Z. Yi, J. Wu, Y. Zhang, L. Bian, L. Liu, X. Ye, H. Yang, H. Li, Solar Energy Mater. Solar Cell, 248, 112005 (2022). DOI: 10.1016/j.solmat.2022.112005
  10. S.M. Weiss, J.D. Ryckman, M. Liscidini, J.E. Spie, Direct imprinting of porous substrates, patent US N 9352543B2 (2016)
  11. А.Л. Степанов, В.И. Нуждин, А.М. Рогов, В.В. Воробьев, Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастиами (ФИЦПРЕСС, Казань, 2019)
  12. Т.С. Кавецкий, М.Ф. Галяутдинов, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, Ю.Н. Осин, А.Б. Евлюхин, А.Л. Степанов, Письма в ЖТФ, 39 (13), 17 (2013). [T.S. Kavetskii, M.F. Galyatdinov, V.F. Valeev, V.I. Nuzhdin, Yu.N. Osin, A.B. Evlyukhin, A.L. Stepanov, Tech. Phys. Lett., 39 (7), 591 (2013). DOI: 10.1134/S1063785013070067]
  13. В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, М.Ф. Галяутдинов, Ю.Н. Осин, А.Л. Степанов, Квантовая электроника, 48 (1), 82 (2018). [V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, M.G. Galyautdinov, Yu.N. Osin, A.L. Stepanov, Quantum Electron., 48 (1), 82 (2018). DOI: 10.1070/QEL16499]
  14. I. Banyasz, M. Fried, C. Duesco, Z. Vertesy, C. Hajdu, Proc. SPIE, 3291, 55 (1988). DOI: 10.1117/12.310575
  15. А.Л. Степанов, В.И. Нуждин, М.Ф. Галяутдинов, В.Ф. Валеев, Н.В. Курбатова, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, Изв. РАН. Сер. физ., 82 (8), 1153 (2018). DOI: 10.1134/S0367676518080409 [A.L. Stepanov, V.I. Nuzhdin, M.F. Galyautdinov, V.F. Valeev, N.V. Kurbatova, V.V. Vorobev, Y.N. Osin, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 82 (8), 1047 (2018). DOI: 10.3103/S1062873818080403]
  16. G. Wang, J. Wang, H. Dai, C. Liu, Opt. Commun., 482, 126689 (2021). DOI: 10.1016/j.optcom.2020.126589
  17. V.P. Dresvyanskiy, V.L. Paperny, A.A. Chernykh, A.L. Rakevich, E.F. Martynovich, AIP Conf. Proc., 2392, 40007 (2021). DOI: 10.1063/5.0062087
  18. R. Bottger, K.-H. Heinig, L. Bischoff, Appl. Phys. A, 113, 53 (2013). DOI: 10.1007/s00339-013-7911-0
  19. Z. Zhang, M. Song, C. Si, W. Cui, Y. Wang, eScience, 3, 100070 (2023). DOI: 10.1016/j.esci.2022.07.004
  20. A.L. Stepanov, V.A. Zhikharev, D.E. Hole, P.D. Townsend, I.B. Khaibullin, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 166-167, 26 (2000). DOI: 10.1016/S0168-583X(99)00641-2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme