Рассмотрено влияние маломодового режима работы кремниевых интегральных волноводов на параметры Y-делителей с гребенчатой геометрией, созданных на платформе кремний на изоляторе. Показано, что возникающая при заращивании оксидом кремния канального кремниевого волновода общепринятых размеров 500x 220 nm мода TE₁₀ приводит к резкому изменению параметров Y-делителей, причем коэффициент деления начинает зависеть от взаимного расположения оптического волокна, подводящего излучение к фотонной интегральной схеме, и узла ввода излучения. Ключевые слова: фотонная интегральная схема, кремний на изоляторе, гребенчатые волноводы, канальные волноводы, интегральные делители.