Распыляемые мишени из фторидных соединений для получения тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников
Колешко В.М.1, Гулай А.В.1, Шевченок А.А.1, Жгун С.А.1
1Белорусский национальный технический университет, Минск
Email: is@bntu.by
Поступила в редакцию: 28 сентября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.
Разработан способ формирования распыляемых мишеней из фторидных соединений элементов, входящих в состав тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП). Изучены физико-механические характеристики разработанных мишеней, параметры процесса их магнетронного распыления и электрофизические свойства получаемых ВТСП-пленок. Установлено, что пленки YBaCuO, полученные из мишеней YF3-BaF2-Cu, стабильно переходят в сверхпроводящее состояние при температуре 82 K, причем ширина перехода не превышает 3 градусов. PACS: 74.81.Bd
- Колешко В.М., Гулай А.В. и др. Способ получения мишеней для осаждения ВТСП-пленок. Патент РФ N 2064717
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук