Влияние плотности ионного тока на формирование наночастиц металла в диэлектрике при имплантации
Степанов А.Л.1, Попок В.Н.1
1Институт физики I, Технический университет Аахена, Германия Казанский физико-технический институт, Казань, Россия Университет Гётеборга и Технический университет Чалмерса, Гётеборг, Швеция
Email: popok@fy.chalmers.se
Поступила в редакцию: 2 июня 2003 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2003 г.
Методами оптической спектроскопии и атомно-силовой микроскопии исследовано влияние плотности ионного тока в интервале 4-15 muA/cm2 на формирование в приповерхностном слое SiO2 наночастиц металла, полученных имплантацией ионов Ag+ энергией 30 keV и дозой 5· 1016 cm-2. Обнаружено, что использование более высоких значений плотности тока в ионном пучке ведет к увеличению размеров наночастиц в результате разогрева стеклянной подложки и роста диффузионной подвижности атомов серебра, что позволяет говорить о возможности контроля размеров наночастиц в диэлектрике путем варьирования плотности ионного тока при имплантации.
- Stepanov A.L., Hole D.E. // Recent. Res. Devel. Applied Phys. 2002. V. 5. P. 1--26
- Ricard D. In: Nonlinear optical materials: principles and applications. Amsterdam: IOS Press, 1995
- Степанов А.Л., Хайбуллин И.Б., Таунсенд П., Холе Д., Бухараев А.А. Способ получения нелинейно-оптического материала. Патент РФ 2156490, 2000
- Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge: Cambridge University Press, 1994
- Степанов А.Л., Попок В.Н., Холе Д.Е. // Физ. хим. стекла. 2002. Т. 28. N 3. С. 131--138
- Степанов А.Л., Холе Д.Е., Попок В.Н. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. N 13. С. 57--63
- Степанов А.Л. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. N 20. С. 39--45
- Stepanov A.L., Hole D.E., Townsend P.D. // J. Non-Crystal Sol. 1999. V. 260. P. 65--74
- Kreibig U., Vollmer M. Optical properties of metal clusters. Berlin: Springer, 1995
- Степанов А.Л., Жихарев В.А., Хайбуллин И.Б. // ФТТ. 2001. Т. 43. N 4. С. 733--739
- Bukharaev A.A., Janduganov V.M., Samarsky E.A., Berdunov N.V. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 103. P. 49--54
- Pham M.T., Matz W., Seifarth H. // Anal. Chim. Acta. 1997. V. 350. P. 209--220
- Steiner G., Pham M.T., Kuhne Ch., Salzer R. // Fresenius J. Anal. Chem. 1998. V. 362. P. 9--14
- Степанов А.Л., Попок В.Н., Холе Д.Е., Бухараев А.А. // ФТТ. 2001. Т. 43. N 11. С. 2100--2106
- Stepanov A.L., Popok V.N., Hole D.E., Khaibullin I.B. // Appl. Phys. A. 2002. V. 74. P. 441--446
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук