Вышедшие номера
Гетерополитипные структуры с квантовыми точками на основе SiC
Лебедев А.А.1, Петров В.Н.1, Титков А.Н.1, Сорокин Л.М.1, Трегубова А.С.1, Мосина Г.Н.1, Черенков А.Е.1, Щеглов М.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Shura.Lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 15 августа 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Благодаря совершенствованию технологии сублимационного роста впервые были получены эпитаксиальные слои 3C-SiC политипа с массивом наноразмерных SiC островков. Рентгенотопографические (X-ray topography) и дифрактометрические (X-ray diffractometry) исследования однозначно свидетельствуют о том, что на поверхности подложки 6H-SiC вырос эпитаксиальный слой со структурой 3C-SiC политипа с областями в двойниковой ориентации друг к другу. Методами атомно-силовой микроскопии (АFM) и просвечивающей электронной микроскопии (TEM) исследованы топография поверхности и приповерхностная микроструктура эпитаксиального слоя соответственно. Выявлены наноостровки (квантовые точки) и определены их размеры и концентрация.