Повышение эффективности i-n-GaN-светодиодов с помощью электрохимического травления
Сидоров В.Г.1, Дрижук А.Г.1, Шагалов М.Д.1, Сидоров Д.В.1, Усиков А.С.1
1Вологодский политехнический институт
Поступила в редакцию: 2 июля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1998 г.
Исследовано электрохимическое травление i-n-GaN-светодиодных структур в водных растворах KOH и NaOH с целью удаления паразитных низкоомных слоев и включений в структурах, которые шунтируют активные каналы протекания тока через структуры и снижают интенсивность электролюминесценции. Интенсивность электролюминесценции структур в процессе травления при этом возрастает на 2-3 порядка.
- Pankove J.J. // J. Electrochem. Soc. 1972. V. 119. P. 1118
- Zolper J.C., Shul R.J. // MRS Bulletin/February. 1997. P. 36
- Minsky M.S., White A.M., Hu E.L. // Appl. Phys. Letter. 1996. V. 68. P. 1531
- Mileham J.R., Peatron S.J., Abernathy C.R., Mackenzie J.D., Shul R.J., Kilcoyne S.P. // J. Vac. Sci. Tecnol. 1996. A14(3). P. 836
- Vartuli C.V., Peatron S.J., Lee J.W., Abernathу C.R., Mackenzie J.D., Zolper J.C., Shul R.J., Ren F. // J. Electrochem. Soc. 1996. V. 143. (11). P. 3681
- YontSey C., Adesida I., Bulman G. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71(15). P. 2151
- Ohkubo M. // Proc. of 2nd Int. Conf. on Nitride Semiconductors --- ICNS'97. October 27--31. 1997. Tokushima, Japan, P2--24. P. 284
- Ohkubo M. // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. V. 36. L955
- Rotter T., Uffmann D., Ackermann J., Aderhold J., Stemmer J., Graul J. // Nitride Semiconductors: Mat. Res. Soc. Proc. 1998. V. 482. P. 1003
- Ponce F.A. // MRS Bulletin/February. 1997. P. 51
- Дрижук А.Г., Сидоров В.Г. // ФТП. 1986. Т. 20(1). С. 144
- Drizhuk A.G., Zaitzev M.V., Sidorov V.G., Sidorov D.V. // Compound Semiconductors: Proc. of 23rd Int. Symp. Compound Semiconductors. St. Petersburg, Russia. 23--27 September 1996 / Ed. by M.S. Shur and R.A. Suris (Inst. Phys. Conf. Ser. No 155: Chapter 4. Bristol and Philadelphia. 1997). P. 401
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
