Модификация формы иглы сканирующего зондового микроскопа с помощью ионного распыления
Дедков Г.В.1, Рехвиашвили С.Ш.1
1Кабардино-Балкарский государственный университет, Нальчик
Поступила в редакцию: 8 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1998 г.
Проводится моделирование процесса ионного распыления иглы сканирующего зондового микроскопа с целью выяснения условий образования выступов на вершине острия. Показано, что при изотропном процессе распыления на вершине иглы конической формы возникают более острые выступы, если начальный радиус кривизны острия не слишком велик и если угловая зависимость коэффициента распыления имеет достаточно резкий максимум при углах падения 60-70o.
- Lantz M.A., O'Shea S.J., Welland M.E., Johnson K.L. // Phys. Rev. 1997. V. B55. P. 10776
- Chen Yufeng, Xu Wei, Huang Jinlin. // J. Phys. 1989. V. E22. N 7. P. 455
- Ibe J.P., Bey P.P.Jr., Brandow S.L., Brizzolara C.R.K., Colton R.J. // J. Vac. Sci. \& Technol. 1990. V. A8. N 4. P. 3570
- Rao M.V.H., Mathur B.K. // Indian J. Pure and Appl. Phys. 1993. V. 31. V. 574
- Vasile M.J., Crigg D.A., Griffith J.E., Fitzgerald E.A., Russel P.E. // Rev. Sci. Instrum. 1991. V. 62. N 9. P. 2167
- Hopkins L.C. et al. // J. Vac. Sci. \& Technol. 1995. V. B13. P. 335
- Morishita S., Okuyama F. // J. Vac. Sci. \& Technol. 1991. V. A9. N 1. P. 167
- Дедков Г.В., Рехвиашвили С.Ш. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. N 11. С. 88
- Andersen H.H., Bay H.L. // Sputtering by Particle Bombardment I / Ed. R. Berish. Springer-Verlag. 1981. P. 200
- Фальконе Д. // УФН. 1992. Т. 162. N 1. С. 72
- Carter G., Navinsek B., Whitton H.L. // Sputtering by Particle Bombardment II // Ed. R. Berish. Top. Appl. Phys. 1983. V. 52. P. 231
- Hasuyama H., Kanda Y., Soeda T., Niiya K., Kimura M. // Mat. Sci. \& Engineering. 1987. V. 90. P. 33
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук