Влияние ультразвука на параметры структур металл--диэлектрик--полупроводник
Парчинский П.Б.1, Власов С.И.1, Муминов Р.А.1, Исмаилов Х.Х.1, Тургунов У.Т.1
1Ташкентский государственный университет им. М. Улугбека, Узбекистан Физико-технический институт им. Стародубцева АН Узбекистана, Ташкент
Поступила в редакцию: 7 декабря 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
Приводятся результаты исследования влияния ультразвукового (УЗ) воздействия на структуры типа металл-окисел-полупроводник (МОП-структуры), предварительно облученные gamma-квантами. Показано, что УЗ воздействие ведет к уменьшению радиационно-индуцированного заряда в диэлектрике исследуемых структур. Рассмотрен механизм УЗ стимулированной диффузии радиационных дефектов в поле упругих напряжений в слое диоксида кримния, приводящий к наблюдаемым эффектам.
- Коршунов Ф.П., Богатырев Ю.В., Вавилов В.А. Воздействие радиации на интегральные микросхемы. Минск: Наука и техника, 1986. 254 с
- Брайловский Е.Ю., Здебский А.П., Корчная В.Л. и др. // Письма в ЖТФ. 1987. Т. 13. В. 21. С. 1310--1313
- Здебский А.П., Корчная В.Л., Тарчинская Т.В. и др. Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. В. 2. С. 76--81
- Вавилов В.С., Горин М., Данилин Н.С., Кив А.Е., Нуров Ю.А., Шаховцев В.И. Радиационные методы в твердотельной электронике. М.: Радио и связь, 1990. 184 с
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. Т. 1. М.: Мир, 1984. 456 с. (Пер. с англ. S.M. Sze. Physics of Semiconductors Devices. New York: John Wiley \& Sons, 1981)
- Terman L.M. // Sol. Stat. Elektron. 1962. N 5. P. 803--831
- Чистов Ю.В., Сыноров В.Ф. Физика МДП структур. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1989. 224 с
- Першенков В.С., Попов В.Д., Шальнов А.В. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС. М.: Энергоатомиздат, 1998. 256 с
- Агаханян Т.М., Аствацатурьян Е.Р., Скоробогатов П.К. Радиационные эффекты в интегральных микросхемах. М.: Энергоатомиздат, 1989. 256 с
- Баранский П.И., Беляев А.Е., Коширенко С.М. и др. ФТТ. 1990. Т. 32. N 7. С. 2159--2161
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
