Неравновесные процессы в емкостных сенсорах на основе пористого кремния
Тутов Е.А.1, Андрюков А.Ю.1, Рябцев С.В.1
1Воронежский государственный университет
Email: phssd28@main.vsu.ru
Поступила в редакцию: 1 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.
Изучена реакция сенсора емкостного типа Al/por-Si/n-Si на аммиак и влажность. Обнаружено влияние освещения на процесс релаксации емкости.
- Jung K.H., Shih S., Kwong D.L. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 10. P. 3046--3064
- Properties of porous silicon / Ed. L. Canham. EMIS Datareviews, series N 18. IEE. London, 1997. 400 p
- Демидович В.М., Демидович Г.Б., Добренкова Е.И., Козлов С.Н. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 14. С. 57--59
- Демидович В.М., Демидович Г.Б., Козлов С.Н., Лунга С.П., Петров А.А. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия. 1996. N 4. С. 99-102
- Ковалевский А.А., Баранов И.Л. // Микроэлектроника. 1996. Т. 25. N 4. С. 298--302
- Anderson R.C., Muller R.S., Tobias C.W. // Sensors and Actuators A. 1990. V. 23. N 1--3. P. 835--839
- Taliercio T., Dilhan M., Massau E., Gue A.M., Foucaran A. // Sensors and Actuators A. 1995. V. 46. N 1--3. P. 43--46
- Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. 432 с
- Тутов Е.А., Андрюков А.Ю., Кашкаров В.М. // ЖПХ. 2000. Т. 73. N 6
- Тутов Е.А., Рябцев С.В., Андрюков А.Ю. // Тез. докл. XX Междунар. конф. "Релаксационные явления в твердых телах" (Relax XX). Воронеж, 1999. С. 369--370
- Физика соединений AIIBVI / Под ред. А.Н. Георгобиани, М.К. Шейнкмана. М.: Наука, 1986. 320 с
- Islam Md.N., Dobal P.S., Bist H.D., Kumar Satyendra // Solid State Commun. 1998. V. 107. N 1. P. 43--46
- Перевощиков В.А., Скупцов В.Д., Шенгуров В.Г. // Поверхность. 1998. N 4. С. 44--46
- Staebler D.I., Wronski C.R. // Appl. Phys. Lett. 1977. V. 31. P. 292
- Tutov E.A., Ryabtsev S.V., Kashkarov V.M., Domashevskaya E.P. // Abstr. 7th European Conf. on Appl. Surface and Interface Analysis (ECASIA). 1997. Goteborg, Sweden, 1997. NM-19. P. 471
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук