Ионно-лучевое полирование наноразмерного рельефа поверхности оптических материалов
Стогний А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Стукалов О.М.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Беларуси, Минск
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 9 июня 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.
Описан метод ионно-лучевого полирования, особенности которого заключаются: в преимущественном осаждении во впадины исходного рельефа поверхности слоя наноразмерной толщины посредством распыления ионами кислорода мишени из одинакового с образцом материала и ионного ассистирования процесса осаждения; в распылении полученной поверхностной структуры на глубину, примерно равную двум толщинам осажденного слоя при помощи нормально падающего низкоэнергетического пучка ионов кислорода; в повторении циклов "осаждение-распыление" с постепенным уменьшением толщины осаждаемого слоя до приобретения поверхностью конечного состояния. На примере кварца, ситалла и оптического стекла BK-7 показано более чем двукратное уменьшение высоты выступов рельефа на исходной поверхности после полирования данным методом, причем на участках поверхности кварца площадью 2.5x 2.5 mum максимальная высота выступов не превышала 0.8 nm.
- Schmidt P.H., Spencer E.G., Walters E.M. // J. of Appl. Phys. 1970. V. 41. N 11. P. 4740--4742
- Wissing M., Holzwarth M., Simeonova D.S., Snowdon K.J. // Rev. Sci. Instr. 1996. V. 64. Issue. 12. P. 4314--4320
- Huashun Zhang. Ion Sources. Science Press Bejing Springer-Berlag Berlin, Heidelberg, 1999. 476 p
- Johnson L.F., North J.C., Wolfe R. // Appl. Phys. Lett. 1973. V. 44. N 10. P. 4753--4757
- Стогний А.И., Корякин С.В., Вирченко В.А. // ЖТФ. 2001. Т. 71. В. 8. С. 87--94
- Smentkowski V.S. // Progress in Surface Science. 2000. V. 64. P. 1--58
- Koslowski B., Strobel S., Zeimann P. // Diamond and Related Materials. 2000. V. 9. P. 1159--1163
- Стогний А.И., Свирин В.Т., Тушина С.Д. и др. // ПТЭ. 2001. N 3. С. 151--154
- Стогний А.И., Корякин С.В. // ПТЭ. 2000. N 6. С. 64--67
- Alvisi M., Mirenghi L., Tapfer L. et al. // Applied Surface Science. 2000. V. 157. P. 52--60
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук