Лазерная модификация титановой пленки на поверхности оптических волноводов в ниобате лития
Российский научный фонд, Новые технологии оптических волноводов на подложках ниобата лития, 19-19-00511
Тронев А.В.
1, Парфенов М.В.
1,2, Соломонов Н.А.
3, Ионов А.М.
4, Божко С.И.
4, Ильичев И.В.
1, Агрузов П.М.
1, Шамрай А.В.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
4Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Email: trone2008@ya.ru, mvparfenov@yandex.com, kreyushka@yandex.ru, iiv@mail.ioffe.ru, piotrag@rambler.ru, achamrai@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 8 июня 2020 г.
Принята к печати: 8 июня 2020 г.
Выставление онлайн: 29 июня 2020 г.
Показано, что лазерная модификация нанометровой титановой пленки может быть использована для точного управления уровнем потерь в оптических волноводах на подложках ниобата лития. Теоретические оценки изменения погонных потерь на уровне 0.95 dB/mm подтверждены экспериментами по локальной лазерной модификации с использованием излучения на длине волны 976 nm с пороговой интенсивностью 1 kW/mm2. Предложенная методика может быть эффективно использована для прецизионной подгонки характеристик интегрально-оптических устройств, например контраста модуляции модуляторов Маха-Цендера. Ключевые слова: интегральная оптика, лазерная модификация, титановая пленка, оптический волновод, ниобат лития.
- Петров В.М., Шамрай А.В. Интерференция и дифракция для информационной фотоники. СПб.: Лань, 2019. 460 с
- Alibart O., D'Auria V., Micheli M., Doutre F., Kaiser F., Labonte L., Lunghi T., Picholle E., Tanzilli S. // J. Opt. 2016. V. 18. P. 104001
- Johnson L.M. Fiber optic sensors: an introduction for engineers and scientists / Eds E. Udd, W.B. Spillman. John Wiley Sons, 2011. P. 87--118
- Yamaguchi V.Y., Nakajima S., Kanno A., Kawanishi T., Izutsu M., Nakajima H. // Jpn. J. Appl. Phys. 2014. V. 53. P. 08MB03. DOI: 10.7567/JJAP.53.08MB03
- Парфенов М.В., Тронев А.В., Ильичев И.В., Агрузов П.М., Шамрай А.В. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 5. С. 3--5
- Парфенов М.В., Тронев А.В., Ильичев И.В., Агрузов П.М., Шамрай А.В. // Письма в ЖТФ. 2020. Т. 46. В. 1. С. 8--11
- Parfenov M., Tronev A., Ilichev I., Agruzov P., Shamrai A. // Appl. Phys. B. 2020. V. 126. P. 93. DOI: 10.1007/s00340-020-07440-5
- Grachev A.I., Chamrai A.V., Petrov M.P. // OSA TOPS. 2011. V. 62. P. 203--211
- Chen C.-C., Portea H., Goedgebuera J.-P., Armbrustera V., Ferrierea R. // Opt. Laser. Technol. 2002. V. 34. P. 453--455
- Bazzan M., Sada C. // Appl. Phys. Rev. 2015. V. 2. P. 040603. DOI: 10.1063/1.4931601
- Ильичев И.В., Тогузов Н.В., Шамрай А.В. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 17. С. 97--103
- Mikami O., Noda J. // Appl. Phys. Lett. 1978. V. 33. P. 856--858. DOI: 10.1063/1.90213
- Arkadiusz J.A., Skowronski L., Trzcinski M., Kinzhybalo V.V., Lazarek K.L., Abramski K.M. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 325. P. 217--226
- Караваев П.М., Ильичев И.В., Агрузов П.М., Тронев А.В., Шамрай А.В. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 10. С. 33--39
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.