В статье, опубликованной в журнале "Письма в Журнал технической физики" (2021, том 47, вып. 21, с. 39-42. DOI: 10.21883/PJTF.2021.21.51628.18874), была допущена ошибка при указании коэффициента стехиометрии x пленок a-SiO_x. В работе указано значение 0.25, которое было получено из спектров пропускания инфракрасного (ИК) диапазона. Более точные измерения, проведенные с помощью методов рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, показали, что значение коэффициента стехиометрии x исходных пленок a-SiO_x составляет 0.9. Кроме того, это позволило уточнить коэффициент пропорциональности, применяемый для определения концентрации связанного кислорода в a-SiO_x методом ИК фурье-спектроскопии [1]. Так: на с. 39, строка 2 аннотации написано: ...кремния a-SiO_0.25 для температур отжига ...", должно быть: ...кремния a-SiO_0.9 для температур отжига..."; на с. 39, строка 7 аннотации написано: ...кристаллизации a-SiO_0.25, которое...", должно быть: ...кристаллизации a-SiO_0.9, которое..."; на с. 39, строки 10-11 сверху в правой колонке написано: ...стехиометрический коэффициент исходных пленок c x=0.25 [7] ", должно быть: ...стехиометрический коэффициент исходных пленок - x=0.9 [7] "; на с. 39, строка 20 сверху в правой колонке написано: ... слоев кварц/a-SiO_0.25/a-SiO₂/Al...", должно быть: ...слоев кварц/a-SiO_0.9/a-SiO₂/Al..."; на с. 41, строки 18-19 сверху в правой колонке написано: ...процесса AIC a-SiO_0.25, которая...", должно быть: ...процесса AIC a-SiO_0.9, которая..."; на с. 41, строка 25 сверху в правой колонке написано: ...нестехиометрического оксида кремния a-SiO_0.25...", должно быть: ...нестехиометрического оксида кремния a-SiO_0.9..."; на с. 41, строка 33 сверху в правой колонке написано: ...процесса AIC a-SiO_0.25...", должно быть: ...процесса AIC a-SiO_0.9...". Эти исправления не сказываются на выводах указанной работы.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.