Синтез и структурные свойства преимущественно ориентированных пленок (Sr,Ba)Nb2O6 на поликоре
Тумаркин А.В.
1, Богдан А.
1, Карамов А.Р.
1, Сапего Е.Н.
11Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия

Email: avtumarkin@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 ноября 2024 г.
В окончательной редакции: 14 ноября 2024 г.
Принята к печати: 6 декабря 2024 г.
Выставление онлайн: 4 апреля 2025 г.
Исследовано влияние состава и давления рабочего газа на структурные свойства пленок ниобата стронция-бария, полученных высокочастотным магнетронным распылением на подложках поликристаллического оксида алюминия. Определены давление и соотношение кислорода и аргона в рабочем газе, при которых на поликоре формируется пленка с преимущественной ориентацией (00l). Это первая успешная попытка формирования преимущественно ориентированных пленок ниобата стронция-бария высокого структурного качества на поликристаллических подложках из оксида алюминия. Ключевые слова: ниобат стронция-бария, ориентированный рост, поликор, сверхвысокочастотные применения.
- J. Huang, X. Gao, J.L. MacManus-Driscoll, H. Wang, Nanostructures in ferroelectric films for energy applications (Elsevier 2019), p. 19--39
- L.W. Martin, A.M. Rappe, Nat. Rev. Mater., 2 (2), 16087 (2016). DOI: 10.1038/natrevmats.2016.87
- I.M. Beskin, S. Kwon, A.B. Posadas, M.J. Kim, A.A. Demkov, Adv. Photon. Res., 2 (10), 2100111 (2021). DOI: 10.1002/adpr.202100111
- T. Ahmad, M. Tomar, K. Jindal, P.K. Jha, Phys. Scripta, 97 (9), 095814 (2022). DOI: 10.1088/1402-4896/ac8900
- S. Gupta, A. Kumar, V. Gupta, M. Tomar, Vacuum, 160, 434 (2019). DOI: 10.1016/j.vacuum.2018.11.057
- Ya.Yu. Matyash, A.V. Pavlenko, S.P. Zinchenko, G.N. Tolmachev, L.I. Kiseleva, A.P. Kovtun, D.V. Stryukov, B.Ya. Sevastyanov, Ferroelectrics, 604, 135 (2023). DOI: 10.1080/00150193.2023.2168989
- A. Tumarkin, A. Gagarin, M. Zlygostov, E. Sapego, A. Altynnikov, Coatings, 10 (3), 247 (2020). DOI: 10.3390/coatings10030247
- S.E. Moon, M.H. Kwak, Y.T. Kim, H.C. Ryu, S.J. Lee, K.Y. Kang, Integr. Ferroelectrics, 66 (1), 275 (2004). DOI: 10.1080/10584580490895680
- J. de los S. Guerra, J. Mendes, R.G. Eiras, J.A. Santos, I.A. Araujo, J. Appl. Phys., 103 (1), 014102 (2008). DOI: 10.1063/1.2828143
- А.В. Павленко, С.В. Кара-Мурза, А.П. Корчикова, А.А. Тихий, Д.В. Стрюков, Н.В. Ковтун, Оптика и спектроскопия, 126 (5), 568 (2019). DOI: 10.21883/OS.2019.05.47654.167-18 [A.V. Pavlenko, S.V.D. Kara-Murza, A.P. Korchikova, A.A. Tikhii, D.V.E. Stryukov, N.V. Kovtun, Opt. Spectrosc., 126 (5), 487 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X19050229]
- A.V. Tumarkin, L.I. Ivleva, K.A. Prokhorov, I.A. Novikov, V.V. Voronov, P.A. Lykov, E.N. Sapego, Thin Solid Films, 806, 140528 (2024). DOI: 10.1016/j.tsf.2024.140528
- A. Tumarkin, A. Bogdan, E. Sapego, A. Gagarin, L. Ivleva, I. Serenkov, V. Sakharov, Coatings, 13 (11), 1937 (2023). DOI: 10.3390/coatings13111937
- А.В. Тумаркин, В.А. Вольпяс, М.В. Злыгостов, А.А. Одинец, Е.Н. Сапего, Изв. РАН. Сер. физ., 82 (3), 395 (2018). [A.V. Tumarkin, V.A. Volpyas, M.V. Zlygostov, A.A. Odinets, E.N. Sapego, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 82 (3), 346 (2018). DOI: 10.3103/S1062873818030322]
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Журн. физ. химии, 77 (10), 1830 (2003). [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, Russ. J. Phys. Chem. A, 77 (10), 1645 (2003).]
- В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин, А.К. Михайлов, А.Б. Козырев, Р.А. Платонов, Письма в ЖТФ, 42 (14), 87 (2016). [V.A. Volpyas, A.V. Tumarkin, A.K. Mikhailov, A.B. Kozyrev, R.A. Platonov, Tech. Phys. Lett., 42 (7), 758 (2016). DOI: 10.1134/S1063785016070300]
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, УФН, 168 (10), 1083 (1998). DOI: 10.3367/UFNr.0168.199810b.1083 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, Phys. Usp., 41 (10), 983 (1998). DOI: 10.1070/PU1998v041n10ABEH000461]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.