Условия осаждения и спектр плотности состояний пленок a-Si1-xCx:H, полученных высокочастотным распылением
Свиркова Н.Н.1, Феликов В.А.1, Лигачев В.А.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 мая 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
Тонкие (1.3-4.7 мкм) пленки a-Si1-xCx:H получали высокочастотным ионно-плазменным распылением сплавной SiC-мишени в атмосфере аргон-водород при различных значениях мощности разряда. С целью выявления характера воздействия условий получения на свойства пленок проведены исследования спектров плотности состояний в диапазоне энергий 0.3-3.0 эВ тремя различными методами. В диапазоне 1.8-3.0 эВ исследования проводились оптическими методами, в диапазоне 1.0-2.3 эВ - методом постоянного фотоответа, а в окрестности уровня Ферми (0.3-0.5 эВ) - методом токов, ограниченных пространственным зарядом. Исследования спектров плотности состояний выполнены при комнатной температуре. Анализ полученных результатов показал, что спектры плотности состояний исследованных пленок в значительной степени зависят от условий приготовления. Выявлены параметры спектров, подверженные существенному влиянию условий осаждения материала.
- Й. Тавада. В кн.: \it Аморфные полупроводники и приборы на их основе, под ред. Й. Хамакава (М., 1986)
- А. Меден, М. Шо. \it Физика и применение аморфных полупроводников (М., 1991)
- А.В. Раков. \it Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур (М., 1975)
- Л. Лей. В кн.: \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., 1988) вып. 2
- Г. Корн, Т. Корн. Справочник по математике (М., 1977)
- А. Кларк. В кн.: \it Тонкие поликристаллические и аморфные пленки: Физика и применения, под ред. Л. Казмерски (М., 1983)
- Дж. Коннелл. В кн.: \it Аморфные полупроводники, под ред. М. Бродски (М., 1982)
- M. Vanecek, A. Abraham, O. Stika, J. Stuchlik, J. Kocka. Phys. St. Sol. (a), \bf84, 617 (1984)
- В.А. Лигачев, В.А. Филиков. ФТП, 25, 133 (1991)
- В.А. Лигачев. ФТТ, 35, 2342 (1993)
- W. Den Boer. J. de Physique. Coll., 4, \bf42, 451 (1981)
- О.А. Голикова, Э.П. Домашевская, М.М. Казанин, В.Х. Кудоярова, М.М. Мездрогина, К.Л. Сорокина, В.А. Терехов, С.Н. Тростянский. ФТП, \bf23, 450 (1989)
- А.Н. Тихонов, В.Я. Арсенин. \it Методы решения некорректных задач (М., 1986)
- В.А. Лигачев, В.Н. Гордеев, В.А. Филиков, Х. Сулеман. ФТП, \bf25, 1536 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук