Диффузия примеси в полупроводнике в двух состояниях, различающихся коэффициентами диффузии и степенью ионизации примесных атомов
Горнушкина Е.Д.1, Малкович Р.Ш.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1995 г.
Выполнен математический анализ диффузии примеси в полупроводнике в двух состояниях, различиющихся коэффициентами диффузии и степенью ионизации атомов примеси, при условиях локального равновесия между состояниями и локальной электронейтральности. Показано, что рассматриваемая задача может быть описана уравнением концентрационно-зависимой диффузии, в котором коэффициент диффузии D(C) является произведением двух сомножителей - диффузионного D(C) и дрейфового F(C), зависящих от распределения примеси по состояниям. Функция D(C) изменяется монотонно, увеличиваясь или уменьшаясь с концентрацией примеси, тогда как F(C) может изменяться и немонотонным образом, что проявляется в наличии максимума либо максимума и минимума. Установлены критерии монотонного и немонотонного поведения функции F(C), которые связаны со значениями зарядов в обоих состояниях, а также с величиной коэффициента обмена между состояниями.
- \it Atomic Diffusion in Semiconductors, ed. D.Shaw (Plenum Press, L.--N.Y., 1973). [Пер.: \it Атомная диффузия в полупроводниках, под ред. Д.Шоу (М., Мир, 1975)]
- Б.И. Болтакс. \it Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках (Л., Наука, 1972)
- L.R. Weisberg, J. Blanc. Phys. Rev., 131, 1548 (1963)
- H.C. Casey, M.B. Panish, L.L. Chang. Phys. Rev., 162, 660 (1967)
- C. van Opdorp. J. Appl. Phys., 38, 5411 (1967)
- K. Kazmierski, B. de Cremous. Japan. J. Appl. Phys., 25, 1169 (1986)
- O. Hilderand. Phys. St. Sol. (a), 72, 575 (1982)
- S. Reynolds, D.W. Vook, J.F. Gibbons. J. Appl. Phys., 63, 1052 (1988)
- H. Kitagawa, S. Tanaka, B. Ni. Japan. J. Appl. Phys., 32, L1645 (1993)
- C.J. Gallagher. J. Phys. Chem. Sol., 3, 82 (1957)
- V. Swaminathan, D.M. Copley. J. Appl. Phys., 47, 4405 (1976)
- Г. Корн., Т. Корн. \it Справочник по математике (М., Наука, 1978)
- Л.Я. Окунев. Высшая алгебра (М., Учпедгиз. 1958)
- Ю.Н. Шутов, В.А. Усков. ФТТ, 12, 3007 (1970)
- K. Kazmierski, F. Launay, B. de Cremoux. Japan. J. Appl. Phys., 26, 1630 (1987)
- K.B. Kahen. Appl. Phys. Lett., 55, 2177 (1989)
- K.B. Kahen, J.P. Spence, G. Rajeswaran. J. Appl. Phys., 70, 2464 (1991)
- K.K. Shih, J.W. Allen, G.L. Pearson. J. Phys. Chem. Sol., 29, 379 (1968)
- A. Usami, Y. Tokuda, H. Shiraki, H. Ueda, T. Wada, H. Kan, T. Murakami. J. Appl. Phys., 66, 3590 (1989)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.