Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Изменение свойств пленок аморфного гидрированного карбида кремния a-Si_{1- x}C_x:H в результате отжига

Бабаев А.А.¹, Трапезникова И.Н.¹, Коньков О.И.¹, Теруков Е.И.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 2 октября 1995 г.

Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследована фотолюминесценция пленок гидрированного аморфного карбида кремния a-Si_1-xC_x:H, полученных разложением газовой смеси ( SiH₄+C₂H₂+Ar/H₂) в плазме тлеющего разряда при температурах (200-250) ^oC и отожженных при 400 ^oC в вакууме с целью модификации свойств материала, в частности эффективности фотолюминесценции. Было показано, что в результате отжига меняются как структурные, так и оптические свойства пленок, в частности, эффективность фотолюминесценции возрастала на 1-2 порядка для широкого диапазона составов.

Y. Hamakawa. \it Springer Proc. in Phys. (Berlin, Heidelberg, Springer-Verlag, 1989) V. 43, p. 164
J. Bullot, S.P. Schmidt. Phys. St. Sol. (b), 143, 345 (1987)
V.A. Vassilyev, A.S. Volkov, E. Musabekov, S.V. Chernyshov, E.I. Terukov. J. Non-Cryst. Sol., 114, 507 (1989)
А.А. Бабаев, М.Ш. Абдулвагабов, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. Неорг. матер., 27, 2205 (1991)
Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова, Джон Сен Хо, Г.Н. Виолина. В сб.: \it Известия ЛЭТИ (Л., Изд-во ЛЭТИ, 1991) вып. 433, с. 66
О.И. Коньков, И.Н. Трапезникова, М.П. Власенко, Е.И. Теруков, Г.Н. Виолина. ФТТ, 34, 328 (1992)
I.N. Trapeznikova, O.I. Konkov, E.I. Chelnokov, M.P. Vlasenko. Inst. Phys. Ser. 137, ch. 2, 125 (1993)
Г.Н. Виолина, Джон Сен Хо, И.Н. Трапезникова. В сб.: \it Тезисы Всесоюзного семинара по аморфным полупроводникам и их применениям (Л., Изд-во ЛИЯФ, 1991) с. 38

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель