Гетеропереходы собственный окисел p-GaSb(Ox)/n-GaSb: безвакуумный процесс и фотоэлектрические свойства
Рудь В.Ю.1, Рудь Ю.В.2, Теруков Е.И.2, Ушакова Т.Н.2, Ильчук Г.А.3
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Национальный университет "Львiвська полiтехнiка" Львов, Украина
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2014 г.
Предложена новая безвакуумная технология и впервые получены анизотипные фоточувствительные гетеропереходы собственный окисел одного из узкозонных полупроводников АIIIBV - бинарного соединения p-GaSb(Ox)/n-GaSb. В основу развитого технологического процесса положено приповерхностное термическое взаимодействие кристалла GaSb c компонентами нормальной воздушной атмосферы земного шара. На основании проведенных в работе оригинальных физико-технологических исследований взаимодействия в системе GaSb/(воздушная среда земного шара) установлено, что полученные таким образом пленки собственного окисла p-GaSb(Ox) проявляют высокую адгезию по отношению к поверхности исходного антимонида галлия n-GaSb. В представленной работе впервые выполнены измерения стационарных вольтамперных характеристик и спектральных зависимостей относительной квантовой эффективности фотопреобразования полученных гетеропереходов p-GаSb(Ox)/n-GaSb, на основании которых обсуждаются закономерности токопереноса и фоточувствительности. В выполненной работе впервые обнаружена и реализована новая возможность применения процесса безвакуумного термического окисления пленок GaSb при создании фотодетекторов оптического излучения на подложках из гомогенных кристаллов антимонида галлия n-GaSb.
- Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, N.N. Ledentsov. 1918--1998 Ioffe Institute. 1918--1998. Development and Research Activities (St. Petersburg, 1998) P. 285
- В.П. Хвостиков, С.В. Сорокина, О.А. Хвостикова, Н.Х. Тимошина, Н.С. Потапович, Б.Я. Бер, Д.Ю. Казанцев, В.М. Андреев. ФТП, 47 (2), 273 (2013)
- Физико-химические свойства полупроводниковых веществ Справочник, под ред. акад. РАН А.В. Новоселовой. М., Наука, 1979)
- П.И. Баранский, В.П. Клочков, И.В. Потыкевич. Полупроводниковая электроника. Справочник (Киев, Наук. думка 1975)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов: В 2-х кн. Пер. с англ. под. академика РАН Р.А. Суриса. 2-е изд. перераб. и доп., (М., Мир, 1984)
- Т. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.