В рамках работы показано, что для более полного анализа статистических параметров морфологии поверхности твердых тел, в частности эпитаксиальных пленок GaN, необходимо получать соотношение скейлинга. Данное соотношение учитывает параметры как эксперимента, так и условий исследования. На примере исследования методами атомно-силовой микроскопии эпитаксиальных пленок нитрида галлия, полученных при различных температурах, показано, что соотношение скейлинга позволяет связать в одном уравнении три параметра: температуру роста, ширину области сканирования и количество точек измерения. Из полученного соотношения можно более точно оценить шероховатость поверхности при областях сканирования более 10x10 мкм и спрогнозировать ее величину при изменении температуры роста.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.