Исследованы свойства слоев кремния, амортизированного имплантацией ионов азота в интервале доз 10¹⁵/10¹⁷ см^-2 с энергией, равной 40 кэВ, и подвергнутого термическому отжигу при температурах 400-1000^oС. Показано, что дозовые зависимости термостойкости, плотности поверхностного заряда Q_ss и тангенса угла диэлектрических потерь tgdelta, а также скорости травления v_тр в 48%-м растворе HF носят немонотонный (экстремальный) характер. По ряду свойств существует оптимальная доза Phi~5·10¹⁶ см^-2, при которой наблюдаются максимальная термостойкость и минимальные значения Q_ss, tgdelta и v_тр. Немонотонность свойств слоев связывается с образованием преципитатов фазы Si_xN_y.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.