Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Эффекты зарядовой нестабильности в системе карбид кремния--диэлектрик
1Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия 
Поступила в редакцию: 14 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Методами неразрушающего контроля по шумовым характеристикам, фольт-фарадных характеристик исследовано влияние лазерного излучения на электрическую прочность и характеристики границы раздела системы карбид кремния-диэлектрик. Выявлены эффекты управления фиксированным зарядом в слое диэлектрика и изменения распределения плотности поверхностных состояний. Обсуждаются возможные механизмы наблюдаемых явлений.
- А.В. Марсанов. Итоги науки и техники. Электроника, 13, 73 (1981)
- А.Г. Григорьянц. Основы лазерной обработки материалов (М., Машиностроение, 1989)
- I. Lundstrom. Phys. Sor., 18, 424 (1989)
- В.А. Карачинов. Тез. докл. межд. сем. "Полупроводниковый карбид кремния и приборы на его основе" (Новгород, 1995) с. 72
- Э.Е. Виолин, О.Н. Воронько, Ф. Нойберт, Е.Н. Потапов. ФТП, 18, 954 (1984)
- П.А. Иванов, В.Н. Пантелеев, Т.П. Самсонова, В.Е. Челноков. ФТП, 29, 271 (1995)
- Л.П. Карба, Л.Н. Крутяков. Электрон. техн., Сер. 8, 3, 68 (1978)
- В.М. Колешко, Г.Д. Каплан. Обзоры по электрон. техн. Сер. 3. Микроэлектроника, 2, 79 (1977)
- R.W. Kee, K.M. Geib, C.W. Wilmsen. J. Vac. Sci. Techn., 15, 1520 (1978)
- A. Suzuki, H. Matsuami, T. Tanaka. J. Electrochem. Soc., 125, 1896 (1978)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
