Вышедшие номера
Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния--кремний
Александров О.В., Афонин Н.Н.
Поступила в редакцию: 5 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Разработана модель диффузионно-сегрегационного перераспределения примеси в системе SiO2-Si при термическом окислении кремния, учитывающая неравновесный характер сегрегации на движущейся межфазной границе. Путем численного анализа эксперименатльных данных определены величина и температурная зависимость коэффициента массопереноса фосфора на межфазной границе SiO2-Si.