Вышедшие номера
Свойства легированных марганцем слоев арсенида галлия, выращенных методом жидкофазной эпитаксии из расплава висмута
Журавлев К.С.1, Шамирзаев Т.С.1, Якушева Н.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 3 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Исследованы электрические и фотолюминесцентные свойства слоев p-GaAs : Mn ориентации (100), выращенных методом жидкофазной эпитаксии из висмутового растворителя при разных температурах. Показано, что такие слои вплоть до концентрации дырок p=1·1018 см-3 при 295 K имеют низкую концентрацию фоновой примеси и низкую степень электрической компенсации. С повышением концентрации марганца в жидкой фазе концентрация доноров в слоях GaAs : Mn возрастает сверхлинейно, а концентрация ионизованных акцепторов сублинейно, что приводит к увеличению коэффициента компенсации. При повышении температуры роста концентрации доноров и акцепторов, а также значения степени компенсации уменьшаются. Проведен анализ причин образования компенсирующих доноров с позиции кристаллохимии и паказано, что за их образование может быть ответственна предварительная ассоциация атомов марганца и мышьяка в жидкой фазе. Высказано предположение, что компенсирующими донорами являются центры безызлучательной рекомбинации, концентрации которых при повышении уровня легирования возрастает быстрее, чем концентрация акцепторов MnGa.