Вышедшие номера
Изменение параметров и состава тонких пленок пористого кремния в результате окисления. Эллипсометрические исследования
Астрова Е.В.1, Воронков В.Б.1, Ременюк А.Д.1, Толмачев В.А.2, Шуман В.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.

С помощью метода эллипсометрии исследовано изменение оптических характеристик тонких пленок окисленного пористого кремния в зависимости от режима получения и последующей термообработки. Показано, что показатель преломления, оптическая толщина и коэффициент экстинкции пленок пористого кремния монотонно уменьшается по мере увеличения степени окисления кремниевого каркаса, в то время как толщина пленки возрастает. Анализ зависимости толщины пленки от степени окисления показал, что она мало отличается от такой же зависимости для пленки без пор. Состав пленок определялся из величины измеренного показателя преломления на длине волны lambda=632.8 нм с помощью зависимостей, рассчитанных на основе трехкомпонентной модели эффективной среды Бруггемана для слоев с разной исходной пористостью.