Оценка перемешивания состава в окрестности границ гетероэпитаксиальных структур Si(Ge) / Si1-xGex, выращиваемых методом молекулярнo-пучковой эпитаксии с комбинированными источниками Si и GeH4
Орлов Л.К.1, Ивина Н.Л.1, Потапов А.В.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 21 марта 2000 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.
Рассмотрены основные причины диффузионного расплывания состава твердого раствора в окрестности границ Si транспортного канала в гетероструктуре Si / Si1-xGex, выращиваемой комбинированным методом молекулярно-пучковой эпитаксии с твердофазным (Si) и газофазным (GeH4) источниками. Для выращенных структур проведено сопоставление роли различных механизмов в формировании профиля металлургической границы слоя и оценено влияние расплывания границ канала на величину подвижности двумерных электронов в нем.
- D.W. Greve. Mater. Sci. Eng. B, 18, 22 (1993)
- M.G. Mil'vidskii, V.I. Vdovin, L.K. Orlov, O.A. Kuznetsov, V.M. Vorotyntsev. Growth of Crystals, ed. by E.I. Givargizov, A.M. Melnikova (Consultants Bureau, N. Y.--London, 1996) v. 20, p. 13
- Л.К. Орлов, В.А. Толомасов, А.В. Потапов, В.И. Вдовин. Тр. 2-го Росс. симп. "Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур", под ред. В.П. Гинкина (Обнинск, 1998) с. 288
- Л.К. Орлов, В.А. Толомасов, А.В. Потапов, В.И. Вдовин. Изв. вузов, сер. Материалы электронной техники (Изд-во МИСиС), 2, 30 (1998)
- В.А. Толомасов, Л.К. Орлов, С.П. Светлов, Р.А. Рубцова, А.Д. Гудкова, А.В. Корнаухов, А.В. Потапов, Ю.Н. Дроздов. Кристаллография, 43, 535 (1998)
- T. Karasava, Y. Kunii, M. Tabe. Japan. J. Appl. Phys., 32, 1039 (1993)
- А.В. Потапов. Автореф. канд. дис. (Нижний Новгород, ИФМ РАН, Ун-т им. Н.И. Лобачевского, 1999)
- Л.К. Орлов, А.В. Потапов, С.В. Ивин. ЖТФ, 70 (6), 102 (2000)
- L.K. Orlov, V.A. Tolomasov, A.V. Potapov, V.I. Vdovin, M.G. Mil'vidskii. Inst. Phys. Conf. Ser., 155, 205 (1997)
- A.V. Potapov, L.K. Orlov, S.V. Ivin. Thin Sol. Films, 336, 191 (1999)
- L.K. Orlov, A.V. Potapov. Physics, Chemistry and Application of Nanostructures Review and Short Notes to Nanomeeting' 97 (Minsk, Belarus) (Word Scietiific, Singapure, 1997) p. 68
- L.K. Orlov, A.V. Potapov, S.V. Ivin. Sol. St. Phenomena, 69--70, 221 (1999)
- Л.К. Орлов, А.В. Потапов, Р.А. Рубцова, Н.Л. Орлова. Изв. РАН. Сер. физ., 53, 267 (1999)
- B. Cunningham, J.O. Chu, S. Akbar. Appl. Phys. Lett., 59, 3574 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук