Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии
Дунаев А.В.1, Мурин Д.Б.1, Пивоваренок С.А.1
1НИИ Т и К Ивановского государственного химико-технологического университета, Иваново, Россия
Email: dunaev-80@mail.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.
Проведено исследование качества поверхности полупроводниковой структуры после плазмохимического травления в плазме смесей HCl/Ar, HCl/Cl2, HCl/H2 и плазме фреона R12. Показано, что оптимальное сочетание скорости травления и шероховатости поверхности достигается в смеси хлористого водорода с аргоном. В смесях с водородом скорости травления слишком малы при хорошем качестве поверхности, а в смесях с хлором из-за больших скоростей травления шероховатость поверхности превышает допустимые в технологии значения. Высокочастотный разряд в фреоне R12 можно эффективно использовать для травления полупроводников, обеспечивая технологически приемлемые скорости взаимодействия, при этом сохраняя равномерную и чистую поверхность.
- В.В. Пасынков, В.С. Сорокин. Материалы электронной техники: уч. для студ. вузов по спец. электронной техники (СПб., Лань, 2001) с. 167
- D.S. Rawal, B.K. Sehgal, R. Muralidharan, H.K. Malik. Plasma Sci. Technol., 13 (2), 223 (2011)
- А.В. Дунаев, С.А. Пивоваренок, А.М. Ефремов, В.И. Светцов. Изв. вузов. Химия и хим. технология, 53 (5), 53 (2010)
- А.В. Дунаев, С.А. Пивоваренок, О.А. Семенова, С.П. Капинос, А.М. Ефремов, В.И. Светцов. ФХОМ, N 6, 42 (2010)
- А.В. Дунаев, С.А. Пивоваренок, А.М. Ефремов, В.И. Светцов. Микроэлектроника, 40 (6), 413 (2011)
- Ю.В. Корякин, И.И. Ангелов. Чистые химические вещества (М., Химия, 1974) с. 84, 186
- А.В. Дунаев, С.А. Пивоваренок, А.М. Ефремов, В.И. Светцов. Нанотехника, 25 (1), 69 (2011)
- А.В. Дунаев, С.А. Пивоваренок, С.П. Капинос. ФХОМ, N 1, 44 (2013)
- А.В. Дунаев. Микроэлектроника, 43 (1), 17 (2014)
- E. Dale, D.E. Ibbotson. Pure Appl. Chem., 60 (5), 703 (1988)
- H.P. Gillis, D.A. Choutov, K.P. Martin, Li Song. Appl. Phys. Lett., 68, 2475 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук