Громов Д.В.1, Мальцев П.П.2, Полевич С.А.3
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
3АО "ЭНПО Специализированные электронные системы", Москва, Россия