Спектры рамановского рассеяния толстых эпитаксиальных слоев GaN на SiC, полученных сублимационным сандвич-методом
Анисимов А.Н.1, Вольфсон А.А.1, Мохов Е.Н.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2018 г.
Исследованы спектры рамановского рассеяния толстых (~100 мкм и более) слоев GaN, выращенных на SiC кристаллах-подложках посредством сублимационного сандвич-метода. Хорошее совпадение полученных нами спектров SiC-подложек с приводимыми в литературе свидетельствует о надежности наших измерений, а минимальные различия между нашими и литературными результатами для слоев GaN означают, что по качеству слои, выращенные нами с помощью сублимационного сандвич-метода, не уступают изготовленным методами MOVPE или CHVPE.
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov. Patent of USSR N 1136501 (1983)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov, M.E. Boiko, P.G. Baranov. J. Cryst. Growth, 183 (1/2), 10 (1997)
- P. Baranov, E. Mokhov, A. Ostroumov, M.G. Ramm, M.S. Ramm, V. Ratnikov, A. Roenkov, Yu. Vodakov, A. Wolfson, G. Saparin, S. Karpov, D. Zimina, Yu. Makarov, H. Juergensen. MRS Internet J. Nitride Semicond. Res., 3, 50 (1998)
- P.G. Baranov, I.V. Ilyin, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov. Inst. Phys. Conf., Ser. N 155, chap. 12, 985 (1997)
- P.G. Baranov, I.V. Ilyin, E.N. Mokhov. Sol. St. Commun., 101 (8), 611 (1997)
- V.Yu. Davydov, Yu.E. Kitaev, I.N. Goncharuk, A.N. Smirnov, J. Graul, O. Semchinova, D. Uffmann, M.B. Smirnov, A.P. Mirgorodsky, R.A. Evarestov. Phys. Rev. B, 58 (19), 12899 (1998)
- S. Nakashima, H. Harima. Phys. Status Solidi A, 162 (1), 39 (1997)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.